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Die Piezoelektrizitat auch piezoelektrischer Effekt oder kurz Piezoeffekt von altgr piezein piezein drucken pressen und ἤlektron elektron Bernstein beschreibt die Anderung der elektrischen Polarisation und somit das Auftreten einer elektrischen Spannung an Festkorpern wenn sie elastisch verformt werden direkter Piezoeffekt Umgekehrt verformen sich Materialien bei Anlegen einer elektrischen Spannung inverser Piezoeffekt Direkter Piezoeffekt Durch mechanischen Druck verlagert sich der positive Q und negative Ladungsschwerpunkt Q Dadurch entsteht ein Dipol eine elektrische Spannung am Element Inhaltsverzeichnis 1 Geschichte 2 Prinzip 3 Piezoelektrische Materialien 3 1 Grundlagen 3 2 Piezoelektrische Kristalle 3 3 Piezoelektrische Keramiken 3 4 Weitere piezoelektrische Materialien 3 5 Biologisches Gewebe 4 Berechnung 4 1 Geometrie 4 2 Gleichungen 5 Anwendungen 5 1 Sensorik 5 2 Aktorik 5 3 Elektrische Bauelemente 5 4 Weitere Anwendungen 6 Ahnliche Effekte 7 Weblinks 8 EinzelnachweiseGeschichte Bearbeiten nbsp Quadrantenelektrometer von Pierre Curie 1880 1890 Science Museum London Der direkte Piezoeffekt wurde im Jahre 1880 von den Brudern Jacques und Pierre Curie entdeckt Bei Versuchen mit Turmalinkristallen fanden sie heraus dass bei mechanischer Verformung der Kristalle auf der Kristalloberflache elektrische Ladungen entstehen deren Menge sich proportional zur Beanspruchung verhalt Heute werden fur Piezoelemente meist PZT Keramiken wie Blei Zirkonat Titanat benutzt Makroskopisch konnte der Effekt im Rahmen der Kontinuumsmechanik schon Anfang des 20 Jahrhunderts beschrieben werden Die mikroskopische Beschreibung wurde erst durch ein tiefgehendes Verstandnis der diskreten Struktur der kondensierten Materie moglich Eine genauere mikroskopische Abhandlung wurde von Richard M Martin 1972 gegeben 1 Die ersten Anwendungen waren piezoelektrische Ultraschallwandler und bald darauf Schwingquarze fur die Frequenzstabilisierung Durch das 1950 an Walter P Kistler erteilte Patent auf den Ladungsverstarker gelang der piezoelektrischen Messtechnik der Durchbruch zur breiten industriellen Anwendung Prinzip BearbeitenDurch die gerichtete Verformung eines piezoelektrischen Materials bilden sich mikroskopische Dipole innerhalb der Elementarzellen Verschiebung der Ladungsschwerpunkte Die Aufsummierung uber das damit verbundene elektrische Feld in allen Elementarzellen des Kristalls fuhrt zu einer makroskopisch messbaren elektrischen Spannung Gerichtete Verformung bedeutet dass der angelegte Druck nicht von allen Seiten auf die Probe wirkt sondern beispielsweise nur von gegenuberliegenden Seiten aus Umgekehrt kann durch Anlegen einer elektrischen Spannung eine Verformung des Kristalls oder des Piezokeramik Bauteils erreicht werden Im Wesentlichen unterscheidet man drei Effekte 2 Langs Effekt Die Kraft erzeugt eine Polarisation in Kraftrichtung und die elektrische Spannung kann in der gleichen Richtung gemessen werden Quer Effekt Die Polarisation ist transversal zur Kraft so dass die Spannung quer zur Kraftrichtung entsteht Scher Effekt Die Spannung entsteht diagonal zu den Ebenen der Scherung Alle drei Effekte lassen sich auch umkehren d h durch Einwirkung einer Spannung kann durch Volumenanderung eine Kraft erzeugt werden Wie jeder andere Festkorper konnen auch piezoelektrische Korper mechanische Schwingungen ausfuhren Bei Piezoelektrika konnen diese Schwingungen elektrisch angeregt werden und bewirken ihrerseits wieder eine elektrische Spannung Die Frequenz der Schwingung ist nur von der Schallgeschwindigkeit eine Materialkonstante und den Abmessungen des piezoelektrischen Korpers abhangig Bei geeigneter Befestigung werden diese Eigenfrequenzen kaum von der Umgebung beeinflusst wodurch piezoelektrische Bauteile wie Schwingquarze sehr gut fur den Einsatz in prazisen Oszillatoren geeignet sind beispielsweise fur Quarzuhren Piezoelektrische Materialien BearbeitenGrundlagen Bearbeiten Der piezoelektrische Effekt kann zunachst durch die Anderung der Geometrie erklart werden Alle ferroelektrischen Materialien und Materialien mit permanentem elektrischen Dipol sind auch piezoelektrisch beispielsweise Bariumtitanat und Blei Zirkonat Titanat PZT Jedoch verhalt sich nur ein Teil der Piezoelektrika ferroelektrisch Bei Kristallen ist die Kristallsymmetrie ein weiteres Kriterium fur das Auftreten der Piezoelektrizitat Die piezoelektrische Polarisation tritt nicht auf wenn der Kristall ein Inversionszentrum besitzt Bei allen 21 nicht zentrosymmetrischen Punktgruppen kann Piezoelektrizitat auftreten mit Ausnahme der kubischen Punktgruppe 432 Anders gesagt darf eine Elementarzelle keinen Punkt besitzen an dem eine Punktspiegelung den Kristall in sich selbst uberfuhrt Das bekannteste Material mit Piezoeigenschaften ist Quarz SiO2 Quarzkristalle besitzen die nicht zentrosymmetrische Punktgruppe 32 Jedes Si Atom sitzt in der Mitte eines Tetraeders aus vier Sauerstoffatomen Eine in Richtung Grundflache Spitze Kristallografische Richtung 111 wirkende Kraft verformt nun diese Tetraeder derart dass die zusammengedruckten Tetraeder elektrisch polarisiert sind und so auf den Oberflachen des Kristalls in 111 Richtung eine Nettospannung auftritt Technisch genutzte Materialien die einen starkeren Piezo Effekt als Quarz zeigen leiten sich oft von der Perowskit Struktur ab z B Bariumtitanat BaTiO3 Die kubische Perowskit Modifikation selbst besitzt die zentrosymmetrische Punktgruppe m 3 m displaystyle m bar 3 m nbsp und ist somit nicht piezoelektrisch das Material kann aber unterhalb einer kritischen Temperatur der piezoelektrischen Curie Temperatur TC in eine nicht zentrosymmetrische Perowskit Struktur ubergehen rhomboedrisch tetragonal siehe Blei Zirkonat Titanat Es zeigt dann eine spontane Polarisation und besitzt ferroelektrische Eigenschaften Piezoelektrische Kristalle Bearbeiten Der wichtigste piezoelektrische Kristall ist die vom Quarz gebildete bis zu 573 C stabile trigonale Kristallstruktur a Quarz Die wichtigste Anwendung sind Schwingquarze Lithiumniobat hat gegenuber Quarz hohere piezoelektrische Konstanten und wird fur piezoelektrische Filter und SAW Bauelemente engl surface acoustic wave akustische Oberflachenwelle verwendet Galliumorthophosphat ist erst seit den 1990er Jahren als Piezoelektrikum erhaltlich Dieses Material ist dem Quarz ahnlich hat jedoch hohere piezoelektrische Konstanten und eine bessere Temperaturstabilitat Es ist bis uber 900 C stabil Weitere piezoelektrische Kristalle sind Berlinit Minerale der Turmalingruppe Seignettesalz und alle Ferroelektrika wie Bariumtitanat BTO oder Blei Zirkonat Titanat PZT BTO und PZT werden jedoch normalerweise nicht als Einkristalle sondern in polykristalliner Form Keramiken verwendet Gegenuber piezoelektrischen Kristallen haben piezoelektrische Keramiken wie PZT den Vorteil wesentlich hoherer piezoelektrischer Koeffizienten Vorteile der Kristalle Quarz Galliumorthophosphat und Lithiumniobat sind hohere Temperaturstabilitat geringere Verluste eine wesentlich geringere Hysterese und kaum vorhandenes Kriechen also verzogerte Verformung nach Anderung der angelegten Spannung Piezoelektrische Keramiken Bearbeiten nbsp Perowskit Elementarzelle von PZT Piezokeramik Unterhalb der Curie Temperatur bildet sich ein Dipol aus nbsp Einpragen einer Polarisationsrichtung durch Ausrichtung der Dipole in einem elektrischen FeldIndustriell hergestellte Piezoelemente sind zumeist Keramiken Diese Keramiken werden aus synthetischen anorganischen ferroelektrischen und polykristallinen Keramikwerkstoffen gefertigt Typische Basismaterialien fur Hochvolt Aktoren sind modifizierte Blei Zirkonat Titanate PZT und fur Niedervolt Aktoren Blei Magnesium Niobat PMN Der Stoffverbund der PZT Keramiken Pb O Ti Zr kristallisiert in der Perowskit Kristallstruktur Unterhalb der piezoelektrischen Curietemperatur bildet sich durch Verzerrungen der idealen Perowskit Struktur ein Dipolmoment aus Bei keramischen Piezoelementen sind die internen Dipole nach dem Sinterprozess noch ungeordnet weshalb sich keine piezoelektrischen Eigenschaften zeigen Die Weissschen Bezirke oder Domanen besitzen eine willkurliche raumliche Orientierung und gleichen sich gegenseitig aus Eine deutlich messbare piezoelektrische Eigenschaft lasst sich erst durch ein ausseres elektrisches Gleichfeld mit einigen MV m aufpragen wobei das Material bis knapp unter die Curie Temperatur erwarmt und wieder abgekuhlt wird Die eingepragte Orientierung bleibt danach zum grossen Teil erhalten remanente Polarisation und wird als Polarisationsrichtung bezeichnet Das Drehen der Weissschen Bezirke durch die Polarisation fuhrt zu einer leichten Verzerrung des Materials sowie einer makroskopischen Langenzunahme in Polarisationsrichtung Weitere piezoelektrische Materialien Bearbeiten Als aktive Sensormaterialien werden zunehmend auch piezoelektrische Dunnschichten eingesetzt Mit Hilfe von Halbleitertechnologien ist es moglich diese aktiven piezoelektrischen Dunnschichten auf Silizium abzuscheiden Hierbei handelt es sich meist um Zinkoxid ZnO oder Aluminiumnitrid AlN Der Kunststoff Polyvinylidenfluorid PVDF lasst sich ahnlich wie piezoelektrische Keramiken polarisieren und ist dann piezoelektrisch Anwendungen hierfur sind Hydrophone Biologisches Gewebe Bearbeiten Ein piezoelektrischer Effekt wurde 1957 fur Knochen entdeckt 3 4 Diese reagieren piezoelektrisch auf Belastungen 1967 wurde auch fur die weichen Gewebsarten Haut Bindegewebe und Knorpel ein piezoelektrischer Effekt nachgewiesen 5 Insbesondere reagieren Kollagen fibrillen und fasern piezoelektrisch auf Druck Zug und Torsion 6 Die Aorta ist hingegen nach gegenwartiger Erkenntnis nicht piezoelektrisch 7 Berechnung BearbeitenIm Folgenden wird die makroskopische Beschreibung im Rahmen der Kontinuumsmechanik gezeigt Es wird nur eine lineare Naherung zwischen den betrachteten Grossen berucksichtigt Nichtlineare Effekte wie die Elektrostriktion werden hier vernachlassigt Geometrie Bearbeiten nbsp Definition der AchsenrichtungenZur Beschreibung der raumlich unterschiedlichen Eigenschaften wird ein Koordinatensystem gewahlt Fur die Indizierung wird ublicherweise ein x y z Koordinatensystem verwendet dessen Achsen man mit den Ziffern 1 2 3 bezeichnet Achse 3 entspricht der Polarisationsachse Die Scherungen an diesen Achsen tragen die Ziffern 4 5 6 Basierend auf diesen Achsen werden die piezoelektrischen Eigenschaften mit Tensoren in Gleichungen gefasst Gleichungen Bearbeiten Die einfachsten Gleichungen fur den Piezoeffekt beinhalten die Polarisation Ppz Einheit C m und die Verformung Spz Grosse der Dimension Zahl P p z d T e S displaystyle P pz d cdot T e cdot S nbsp S p z d E displaystyle S pz d cdot E nbsp wobei d e die piezoelektrischen Koeffizienten E die elektrische Feldstarke V m und T die mechanische Spannung N m angibt Die erste Gleichung beschreibt den direkten die zweite den inversen Piezoeffekt Die piezoelektrischen Koeffizienten werden durch dreistufige sog piezoelektrische Tensoren beschrieben Man hat einerseits piezoelektrische Verzerrungskoeffizienten Reaktion der Verzerrung auf das elektrische Feld d i j k S i j E k displaystyle d ij k frac partial S ij partial E k nbsp andererseitspiezoelektrische Spannungskoeffizienten Reaktion der mechanischen Spannung auf das elektrische Feld e i j k T i j E k displaystyle e ij k frac partial T ij partial E k nbsp Die beiden Koeffizienten sind uber die elastischen Konstanten in einen Zusammenhang zu bringen e i j k l m C i j l m d l m k displaystyle e ij k sum lm left C ijlm cdot d lm k right nbsp Effekte zweiter Ordnung inverser Piezoeffekt werden durch die elektrostriktiven Koeffizienten beschrieben nbsp Beispiel fur die Struktur der Koeffizientenmatrizen fur die Kristallklasse 4mm der auch PZT angehortDie oben angegebenen Tensoren werden normalerweise in Matrixform umgeschrieben Voigtsche Notation Damit erhalt man Matrizen mit sechswertigen Komponenten welche der oben dargestellten Achsendefinition entsprechen Die piezoelektrischen Effekte werden dann mittels zweier gekoppelter Gleichungen beschrieben in der die dielektrische Verschiebung D anstelle der Polarisation verwendet wird D d T e T E displaystyle D d cdot T varepsilon T cdot E nbsp S s E T d E displaystyle S s E cdot T d cdot E nbsp dd dd e T displaystyle varepsilon T nbsp Permittivitat bei konstanter mechanischer Spannung s E displaystyle s E nbsp Elastizitatskonstante bei konstanter elektrischer FeldstarkeEs ist ublich die Elemente dieser Gleichungen in der Verkoppelungsmatrix zusammenzufassen Wichtigster Materialparameter fur den inversen Piezoeffekt und damit fur Aktoren ist die piezoelektrische Ladungskonstante d Sie beschreibt den funktionalen Zusammenhang zwischen der angelegten elektrischen Feldstarke und der damit erzeugten Dehnung Die charakteristischen Grossen eines piezoelektrischen Wandlers sind fur die verschiedenen Wirkrichtungen unterschiedlich nbsp Links Quereffekt Rechts LangseffektIm Bereich der Aktorik sind zwei Haupteffekte relevant Fur diese beiden Effekte vereinfacht sich die Gleichung fur die Ausdehnung wie folgt Piezoelektrischer Quer oder Transversaleffekt d31 Effekt Die mechanische Kraft wirkt quer zum angelegten Feld S 1 s 11 E T 1 d 31 E 3 displaystyle S 1 s 11 E cdot T 1 d 31 cdot E 3 nbsp Piezoelektrischer Langs oder Longitudinaleffekt d33 Effekt Die mechanische Kraft wirkt parallel zum angelegten Feld S 3 s 33 E T 3 d 33 E 3 displaystyle S 3 s 33 E cdot T 3 d 33 cdot E 3 nbsp Anwendungen BearbeitenHeute werden piezoelektrische Bauelemente in vielen Branchen eingesetzt Industrie und Fertigung Automobilindustrie Medizintechnik Telekommunikation Im Jahr 2010 erzielte der weltweite Markt fur piezoelektrische Bauelemente einen Umsatz von rund 14 8 Milliarden US Dollar 8 Generell lassen sich die Anwendungen in drei Bereiche aufteilen Sensorik Aktorik Elektrische BauelementeSensorik Bearbeiten Das Auftreten der piezoelektrischen Ladung bei mechanischer Verformung wird bei piezoelektrischen Sensoren genutzt Die dabei entstehende Ladung kann mit einem Ladungsverstarker in eine elektrische Spannung mit niedriger Quellimpedanz umgewandelt werden Bei der anderen Moglichkeit mit dieser Ladung einen Kondensator aufzuladen und dessen Spannung mit einem moglichst hochohmigen Spannungsmessgerat zu messen konnen mangelhafte Isolationswiderstande beispielsweise durch Feuchtigkeit das Ergebnis stark verfalschen und die Registrierung langsamer Verformungen verhindern nbsp Piezoelement zur Wandlung von mechanischem Druck in elektrische Spannung In der Musik werden Piezoelemente als Tonabnehmer fur akustische Instrumente genutzt hauptsachlich bei Saiteninstrumenten wie Gitarre Geige oder Mandoline Die dynamische Verformung des Instrumentes Vibration des Klangkorpers wird in eine geringe Wechselspannung umgewandelt die dann elektrisch verstarkt wird Bei piezoelektrischen Beschleunigungssensoren oder aufnehmern kommt es bei einer mechanischen Deformation Kompression oder Scherung durch die Beschleunigung zu einer Ladungstrennung und damit zu einer abgreifbaren Ladung an den aufgedampften Elektroden Bei Schwingquarzen kann der Einfluss verschiedener Grossen auf die Resonanzfrequenz bei akustischen Oberflachenwellenbauteilen der Einfluss auf die Verzogerungszeit ausgenutzt werden Eine wichtige Anwendung ist die Messung der auf dem Quarz aufgebrachten Masse z B bei industriellen Beschichtungsverfahren zur Bestimmung der Schichtdicke Es kann auch die Temperaturabhangigkeit der Schwingungsfrequenz gemessen werden solche Schwingquarzthermometer sind jedoch nicht mehr im Handel Aktorik Bearbeiten Piezoaktoren konnen nach der Betriebsweise quasistatisch oder resonant oder nach der Richtung des genutzten Effekts unterschieden werden Aus der Unterscheidung von Transversaleffekt Quereffekt d31 Effekt Longitudinaleffekt Langseffekt d33 Effekt und Schereffekt d15 Effekt ergeben sich drei verschiedene Grundelemente fur piezoelektrische Aktoren Der Schereffekt wird jedoch deutlich seltener als die anderen beiden Effekte in Aktoren genutzt da d15 Aktoren aufwandiger herzustellen sind Fur mehrdimensionale Bewegungen mussen mehrere Piezo Elemente so kombiniert werden dass sie in verschiedene Richtungen wirken nbsp Piezoaktorische Grundelemente nbsp Piezo Summer englisch BuzzerAuch Aktoren die im kHz Bereich betrieben werden konnen als quasistatisch betrachtet werden solange die Betriebsfrequenz deutlich unterhalb der ersten Resonanzfrequenz des Systems liegt Die hohe Genauigkeit und die grosse Dynamik pradestinieren den Piezoaktor fur Positionieraufgaben und zur aktiven Schwingungsdampfung Typische Langenanderungen und damit Stellwege liegen bei 0 1 der Aktorlange und damit bei den grossten verfugbaren Aktoren in der Grossenordnung von 100 µm Begrenzend auf die Stellwege wirken die Spannungsfestigkeit des Materials die hohen Betriebsspannungen und die in eine Sattigung laufende Kennlinie des Materials Die kurzen Stellwege von Piezoaktoren lassen sich mit verschiedenen Mitteln vergrossern z B durch Hebel oder durch Sonderbauformen wie das Bimorph Biegeelement Dieses ist eine Kombination aus zwei Querdehnelementen Eine entgegengesetzte Polarisierung oder Ansteuerung der Elemente bewirkt eine Verbiegung des Aktors Beispiele fur die quasistatische Anwendung von Piezoaktoren sind Braillezeilen fur Blinde bei denen durch Anlegen einer Spannung fur den Blinden tastbare Stifte hochgedruckt werden womit am PC der Monitortext in tastbare Blindenschriftzeichen umgesetzt wird Tintenstrahldrucker engl Drop on Demand Piezolautsprecher bei denen die Schallwellen durch eine tonfrequente Wechselspannung erzeugt werden Dieseleinspritzsysteme mit piezoelektrischen Aktoren keramische Vielschichtbauteile mit Edelmetallinnenelektroden die die Common Rail Technik verbessert haben Dabei wird die Einspritzung von Diesel uber Ventile teilweise ersetzt Seit 2005 werden auch beim Pumpe Duse System Piezoaktoren eingesetzt Industrieunternehmen die derartige Piezoaktoren in grossen Stuckzahlen fertigen sind die Firmen Epcos und Bosch Resonant betriebene Piezoaktoren werden uberwiegend zur Ultraschallerzeugung und in Piezomotoren wie z B Wanderwellenmotoren eingesetzt In Piezomotoren werden die kleinen Stellwege von Piezoaktoren mittels verschiedener Prinzipien aufaddiert so dass sehr grosse Stellwege erreicht werden konnen Je nach Motorprinzip arbeiten Piezomotoren quasistatisch oder resonant Elektrische Bauelemente Bearbeiten Bei diesen Anwendungen wird eine mechanische Schwingung eines piezoelektrischen Festkorpers elektrisch angeregt und wieder elektrisch detektiert Es wird grundlegend zwischen zwei Typen unterschieden Volumenresonatoren bei denen im Wesentlichen das gesamte piezoelektrische Element schwingt Die wichtigsten Vertreter sind Schwingquarze und keramische Filter SAW Bauelemente basieren auf akustischen Oberflachenwellen engl surface acoustic wave SAW Beispiele sind SAW Filter und Verzogerungsleitungen Als Bauelement findet der piezoelektrische Transformator Anwendung als eine Form des Resonanztransformators zur Erzeugung der Hochspannung im Bereich der Inverter Er dient zur Versorgung von Leuchtrohren CCFL wie sie als Hintergrundbeleuchtung bei Flussigkristallanzeigen verwendet werden Weitere Anwendungen Bearbeiten nbsp PiezofeuerzeugDer piezoelektrische Effekt findet Verwendung in Piezofeuerzeugen hier wird in einem Piezozunder ein plotzlicher grosser Druck Hammer verwendet um eine kurzzeitige hohe elektrische Spannung zu erzeugen Die Funkenentladung zundet dann die Gasflamme Aufschlagzunder wie in den Gefechtskopfen von Panzerabwehrwaffen Panzerfaust RPG 7 Piezomikrofone Kristallmikrofone Piezo Lautsprecher in Kopfhorern batterielose Funkschalter Piezo Sirenen und Summer sind weitere Verwendungen Eine Reihe von mikromechanischen Sensoren macht sich Piezoelektrizitat zunutze z B Beschleunigungssensoren Drehraten Druck und Kraftsensoren sowie Ultraschallsensoren Mikrowaagen und Klopfsensoren in Kraftfahrzeugmotoren Auch manche mikromechanische Aktoren basieren auf Piezoelektrizitat Piezomotoren Squiggler Ultraschallmotoren z B fur die Objektivautofokussierung oder Uhrenantriebe im Bereich der Mikro und Nanopositioniersysteme sind Rastertunnelmikroskop Rasterelektronenmikroskop und das Rasterkraftmikroskop piezoelektrisch angetriebene Systeme In der Ventiltechnik sind Einspritzdusen von Pkw Serienstart 2000 fur Dieselmotoren Proportional Druckregler und Druckkopfe von Tintenstrahldruckern zu erwahnen Tonabnehmer elektroakustische Verzogerungsleitungen wie in alteren PAL oder SECAM Farbfernsehgeraten batterielose Funktechnik Schalter und optische Modulatoren sind ebenfalls piezoelektrische Bauteile Die Zufuhrtechnik verwendet viele der genannten Bauteile Der piezoelektrische Kristall wird zudem zur Erzeugung von kaltem Atmospharendruckplasma genutzt das vor allem fur die Oberflachenaktivierung Keimreduktion und Geruchsreduktion in der Medizin eingesetzt wird 9 Ahnliche Effekte BearbeitenPyroelektrizitat Piezoresistiver EffektWeblinks Bearbeiten nbsp Commons Piezoelectricity Sammlung von Bildern Videos und Audiodateien PiezoMat eu Online Datenbank zu piezoelektrischen Materialien ihren Eigenschaften und Anwendungen Piezotransfer de Plattform fur gebundeltes Wissen der Piezokeramikbranche Der Piezoeffekt bei Kristallen Piezo Tutorium Piezoaktorik in der Prazisionsstelltechnik Brevier Technische Keramik Bleizirkonattitanat piezoelektrischer Effekt Piezofibel Wissenswertes zur Piezomechanik Piezoelectric direct discharge plasma Plasmaerzeugung Piezoelektrische Konstanten einfach erklartEinzelnachweise Bearbeiten Richard M Martin Piezoelectricity In Physical Review B Jg 5 Nr 4 1972 ISSN 1098 0121 S 1607 1613 doi 10 1103 PhysRevB 5 1607 Ekbert Hering Rolf Martin Martin Stohrer Physik fur Ingenieure 12 Auflage Springer Verlag 2016 ISBN 978 3 662 49354 0 9 3 3 Piezoelektrizitat Researchers get straight to the heart of piezoelectric tissues In Phys org American Institute of Physics 5 Oktober 2017 abgerufen am 5 Dezember 2018 Eiichi Fukada Iwao Yasuda On the Piezoelectric Effect of Bone In Journal of the Physical Society of Japan Band 12 Nr 10 1957 S 1158 1162 doi 10 1143 JPSJ 12 1158 Morris H Shamos Leroy S Lavine Piezoelectricity as a Fundamental Property of Biological Tissues Nature Band 213 S 267 269 21 Januar 1967 Hartmut Heine Lehrbuch der biologischen Medizin Grundlagen und Extrazellutare Martix Haug Verlag 2015 ISBN 978 3 8304 7544 6 S 42 Thomas Lenz et al Ferroelectricity and piezoelectricity in soft biological tissue Porcine aortic walls revisited Applied Physics Letters 2017 doi 10 1063 1 4998228 Market Report World Piezoelectric Device Market Acmite Market Intelligence abgerufen am 27 Juli 2011 Dr Stefan Nettesheim Innovative plasmagenerator in piezo technology Applications in medicine and medicaltechnology PDF 29 Oktober 2015 abgerufen am 5 Marz 2019 englisch Abgerufen von https de wikipedia org w index php title Piezoelektrizitat amp oldid 236042220