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Unter Kristallorientierung versteht man die Angabe wie ein konkreter Kristall oder auch nur eine seiner Oberflachen bezuglich seiner inneren Struktur orientiert ist ob also seine Aussenflache parallel zu einer der beispielsweise Wurfelflachen seiner Elementarzelle liegt oder sogar der ganze Kristall als solcher so orientiert ist Die Angabe wird ublicherweise mit millerschen Indizes ausgedruckt man spricht beispielsweise von 111 oder 110 Ebenen und Ausrichtungen parallel oder senkrecht dazu Die Angabe einer Orientierung ist nur fur einen Einkristall sinnvoll Es muss sich also nicht nur um einen Festkorper handeln sondern auch noch um einen durchgehend einheitlich orientierten Korper Bei vielkristallinen Festkorpern bezeichnet man die Gesamtheit der Orientierungen als Textur die man z B als Orientierungsdichteverteilungsfunktion angeben kann Inhaltsverzeichnis 1 Herkunft 2 Messung 3 Anwendung 4 Siehe auch 5 LiteraturHerkunft Bearbeiten nbsp Salzkristalle kubisch Es gibt vor allem zwei Quellen fur Einkristallmaterial mit definierter Orientierung naturliche Kristalle mit offensichtlicher Orientierung z B NaCl Kristalle im kubischen Kristallsystem die auch als makroskopische Wurfel kristallisieren Einkristalle die mit Hilfe von Impfkristallen kunstlich hergestellt werden vor allem mit dem Czochralski Verfahren oder mit dem Zonenschmelzverfahren Messung BearbeitenLiegt ein Einkristall unbekannter Orientierung vor so gibt es verschiedene Wege seine exakte Orientierung zu ermitteln nbsp Silicium Einkristall mit Naht etwas links der MitteBei Kristallen die nach dem Czochralski Verfahren hergestellt sind ist die Orientierung erkennbar an senkrechten Nahten an der Aussenseite die sich vom eigentlich runden Kristallkorper abheben Durch die standige Rotation bei diesem Herstellungsverfahren wird der Kristall zwar uberwiegend rund zylindersymmetrisch in den ausgezeichneten Symmetrierichtungen lagern sich neue Atome aber besonders gut an so dass hier ein zusatzlicher Auftrag erfolgt Je nach Orientierung der senkrechten Rotationsachse also die 100 110 111 Richtung im Kristall bilden sich drei oder vier Nahte auf dem Umkreis heraus Quantitative Messungen zur Orientierung fuhrt man mit rontgenographischen Methoden durch vor allem mit dem Laue Verfahren Bei kleinsten Kristallen werden elektronenmikroskopische Beugungsverfahren eingesetzt wie Elektronenruckstreubeugung Kossel oder Kikuchi Diagramme Ein mehr qualitatives Messverfahren besteht darin die polierte Kristalloberflache anzuatzen Dabei bilden sich Atzgrubchen Diese haben die Form auf dem Kopf stehender je nach Orientierung der Oberflache drei oder vierzahliger Hohlpyramiden also mit dreieckiger oder quadratischer rechteckiger Grundflache Wer nicht zu viel wegatzen will muss diese Untersuchung mit dem Mikroskop vornehmen Anwendung BearbeitenBreite Anwendung finden Kristalle definierter Orientierung in Schwingquarzen Hier entscheidet sie massgeblich uber die Temperaturkonstanz der Schwingfrequenz und damit uber die Langzeitgenauigkeit beispielsweise damit aufgebauter Uhren Der AT Schnitt ist eine der bevorzugten Konfigurationen In der Wissenschaft benotigt man Einkristalle verschiedener Orientierung fur Messungen die Details zum Bandermodell des verwendeten Materials ermitteln sollen Wenn dazu Spektroskopie mit polarisiertem Licht in bekannter Ausrichtung zur Orientierung des Kristallmaterials betrieben wird konnen gezielt Bandeigenschaften in den einzelnen Symmetrierichtungen des Materials bestimmt werden nbsp Durch kristallorientierungsabhangiges Atzen Unteratzung des Substratmaterials freigelegte GreifarmeIn der Technik spielt das Wissen um die Orientierung von Kristallen eine grosse Rolle Das Basismaterial Substrat in der Halbleitertechnik sind hochreine Siliciumeinkristalle die in Form dunner Scheiben Wafer bearbeitet werden Fur verschiedene Bearbeitungstechnologien ist es dabei wichtig die Kristallorientierung zu kennen So kann sich beispielsweise bei der Dotierung durch Ionenimplantation eine Vorzugsrichtung beim Durchqueren der Ionen im Substrat ausbilden der Gitterfuhrungseffekt Dieser verhindert eine genaue Prozessfuhrung da das Profil der Eindringtiefen nicht mehr genau berechenbar ist Zur Abhilfe kann das Substrat leicht verkippt werden wodurch nur noch die berechenbare Streuung der Ionen im Kristall wirkt Standard sind 100 Siliciumwafer beispielsweise um ca 7 verkippt alternativ werden dunne Streuschichten aus Siliciumdioxid aufgetragen Ein anderes Beispiel ist das kristallorientierungsabhangige Nassatzen von Silicium mit Kaliumhydroxid Losung in der Mikrosystemtechnik Hier konnen je nach Kristallorientierung des Substrates bzw dessen Oberflache und Maskierung unterschiedliche Mechanikelemente erzeugt werden Siehe auch BearbeitenKornorientierungLiteratur BearbeitenCharles Kittel Einfuhrung in die Festkorperphysik 14 Auflage Oldenbourg 2005 ISBN 3 486 57723 9 Werner Schatt Hartmut Worch Werkstoffwissenschaft 9 Auflage Wiley VCH 2003 ISBN 3 527 30535 1 Abgerufen von https de wikipedia org w index php title Kristallorientierung amp oldid 220773338