www.wikidata.de-de.nina.az

Mikrosystemtechnik Die MST englisch micro systems technology selten auch Mikrosystemtechnologie ist ein Teilbereich der

Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik (MST, englisch micro systems technology), selten auch Mikrosystemtechnologie, ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschäftigt sich mit der Lehre, Forschung & Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen. Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert.

Mikroheizung

Ein weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik, die sich mit physikalischen und/oder chemischen Prozessen beschäftigt, die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen.

Begriff

Für eine Abgrenzung und Definition der Mikrosystemtechnik und der Geräte selbst (MEMS), siehe Mikrosystem (Technik).

Verfahren

In Mikrosystemen wirken Sensoren, Aktoren und Datenverarbeitung zusammen. Für die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert. Dazu zählen die Mikromechanik, die Mikrofluidik, die Bioelektronik, die Mikrooptik (Sensoren, Aktoren) sowie die Mikroelektronik (Datenverarbeitung, elektronische Schnittstellen) selbst. Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten (siehe Aufbau- und Verbindungstechnik), als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid (siehe Dünnschichttechnik). Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfältig, neben typischen Dünnschichttechniken werden auch Abformtechniken (wie LIGA), Ätztechniken usw. genutzt. Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle, Halbleiter, Keramiken, Sol-Gel-Materialien, Kunststoffe und viele mehr.

Studium

Mikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen, Universitäten oder Forschungseinrichtungen studiert werden. Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung. Ähnliche Studiengänge heißen z. B. Nanotechnologie, NanoEngineering usw.

Preise & Auszeichnungen

Die IEEE Electron Devices Society (EDS) verleiht u. a. den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award für ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS.

Anwendungsbereiche

Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Automobilindustrie, Elektrotechnik, Informationstechnik, Verkehrstechnik, Hochfrequenztechnik und Medizintechnik.

Wirtschaft & Hersteller

Verbände & Organisationen

Literatur

Fachartikel

  • Haoran Wang, Yifei Ma, Qincheng Zheng, Ke Cao, Yao Lu, Huikai Xie: Review of Recent Development of MEMS Speakers. In: Micromachines. Band 12, Nr. 10, 16. Oktober 2021, S. 1257, doi:10.3390/mi12101257 (englisch).

Fachjournale

Lehrbücher

  • Stephanus Büttgenbach: Mikrosystemtechnik (= Technik im Fokus). Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2016, ISBN 978-3-662-49772-2, doi:10.1007/978-3-662-49773-9.
  • Markus Glück: MEMS in der Mikrosystemtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, Wiesbaden 2005, ISBN 3-519-00520-4, doi:10.1007/978-3-663-10778-1.
  • Manfred Kasper: Mikrosystementwurf. Springer Berlin Heidelberg, Berlin / Heidelberg 2000, ISBN 3-540-66497-1, doi:10.1007/978-3-642-57123-7.
  • Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul: Mikrosystemtechnik für Ingenieure. Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage. Wiley-VCH, Weinheim 2005, ISBN 3-527-30536-X.
  • Friedemann Völklein, Thomas Zetterer: Praxiswissen Mikrosystemtechnik (= Vieweg Praxiswissen). Vieweg+Teubner (Springer), Wiesbaden 2006, ISBN 978-3-528-13891-2, doi:10.1007/978-3-8348-9105-1.

Weiterführende Literatur

  • Stephanus Büttgenbach, Iordania Constantinou, Andreas Dietzel, Monika Leester-Schädel: Case Studies in Micromechatronics: From Systems to Processes. Springer Berlin Heidelberg, Berlin / Heidelberg 2020, ISBN 978-3-662-61319-1, doi:10.1007/978-3-662-61320-7 (englisch).
  • Dan Zhang (Hrsg.): Advanced Mechatronics and MEMS Devices (= Microsystems. Band 23). Springer New York, New York, NY 2013, ISBN 978-1-4419-9984-9, doi:10.1007/978-1-4419-9985-6 (englisch).
  • Shiban Kishen Koul, Sukomal Dey: Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-millimeter Applications (= Lecture Notes in Electrical Engineering. Band 859). Springer Singapore, Singapur 2022, ISBN 978-981-16-9442-4, doi:10.1007/978-981-16-9443-1 (englisch).
  • Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans P. Zappe: Comprehensive microsystems. Elsevier, Amsterdam/ Paris 2008, ISBN 978-0-444-52190-3.
  • Monografien aus der Springer Serie Microsystems and Nanosystems

Weblinks

Commons: Mikrotechnologie – Sammlung von Bildern, Videos und Audiodateien

Einzelnachweise

  1. Jan G. Korvink, Oliver Paul: MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. Springer Berlin Heidelberg, Berlin, Heidelberg 2006, ISBN 3-540-21117-9, doi:10.1007/978-3-540-33655-6 (englisch).
  2. Simon M. Sze (Hrsg.): Semiconductor Sensors. Wiley, New York 1994, ISBN 0-471-54609-7 (englisch).
  3. Mikrosystemtechnik - 52 Studiengänge. Abgerufen am 27. Dezember 2022.
  4. Jessica Mouchegh: Mehr Chips: Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen. In: all-electronics. Hüthig GmbH, 23. Februar 2022, abgerufen am 15. Dezember 2022.
  5. Shiban Kishen Koul, Sukomal Dey: Micromachined Circuits and Devices: Microwave to Sub-millimeter Applications (= Lecture Notes in Electrical Engineering. Band 859). Springer Singapore, Singapur 2022, ISBN 978-981-16-9442-4, doi:10.1007/978-981-16-9443-1 (englisch).
  6. Inder J. Bahl, P. Bhartia: Microwave Solid State Circuit Design. 2. Auflage. Wiley-Interscience, New York 2003, ISBN 0-471-20755-1.
  7. MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications. Springer Berlin Heidelberg, Berlin / Heidelberg 2006, ISBN 3-540-21117-9, doi:10.1007/978-3-540-33655-6 (englisch).
  8. Startseite MikrosyStemTechnik Kongress. VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e. V., abgerufen am 5. Dezember 2022.
  9. Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE Electron Devices Society. Abgerufen am 6. Dezember 2022 (britisches Englisch).
wikipedia, wiki, deutsches, deutschland, buch, bücher, bibliothek artikel lesen, herunterladen kostenlos kostenloser herunterladen, MP3, Video, MP4, 3GP, JPG, JPEG, GIF, PNG, Bild, Musik, Lied, Film, Buch, Spiel, Spiele
Veröffentlichungsdatum:
Die Mikrosystemtechnik MST englisch micro systems technology selten auch Mikrosystemtechnologie ist ein Teilbereich der Mikrotechnik und beschaftigt sich mit der Lehre Forschung amp Entwicklung sowie Herstellung von Mikrosystemen 1 Dabei werden beispielsweise mikromechanische oder mikrooptische Bauelemente mit mikroelektronischen Schaltungen in einem komplexen System kombiniert und integriert MikroheizungEin weiteres Teilgebiet ist die Mikroverfahrenstechnik die sich mit physikalischen und oder chemischen Prozessen beschaftigt die in mikrostrukturierten Apparaten ablaufen Inhaltsverzeichnis 1 Begriff 2 Verfahren 3 Studium 4 Preise amp Auszeichnungen 5 Anwendungsbereiche 6 Wirtschaft amp Hersteller 7 Verbande amp Organisationen 8 Literatur 8 1 Fachartikel 8 2 Fachjournale 8 3 Lehrbucher 8 4 Weiterfuhrende Literatur 9 Weblinks 10 EinzelnachweiseBegriff BearbeitenFur eine Abgrenzung und Definition der Mikrosystemtechnik und der Gerate selbst MEMS siehe Mikrosystem Technik Verfahren BearbeitenIn Mikrosystemen wirken Sensoren Aktoren und Datenverarbeitung zusammen 2 Fur die Herstellung komplexer Mikrosysteme werden daher Verfahren und Methoden aus unterschiedlichen Mikrotechniken kombiniert Dazu zahlen die Mikromechanik die Mikrofluidik die Bioelektronik die Mikrooptik Sensoren Aktoren sowie die Mikroelektronik Datenverarbeitung elektronische Schnittstellen selbst Die Integration zu einem System erfolgt sowohl aus diskrete Komponenten siehe Aufbau und Verbindungstechnik als auch monolithisch in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium Arsenid siehe Dunnschichttechnik Die genutzten Verfahren zur Herstellung sind dabei sehr vielfaltig neben typischen Dunnschichttechniken werden auch Abformtechniken wie LIGA Atztechniken usw genutzt Dabei nutzt die MST nahezu jede Art von Werkstoffen wie Metalle Halbleiter Keramiken Sol Gel Materialien Kunststoffe und viele mehr Studium BearbeitenMikrosystemtechnik kann an verschiedenen Hochschulen Universitaten oder Forschungseinrichtungen studiert werden 3 Grundlagen in Physik gelten generell als Grundvoraussetzung Ahnliche Studiengange heissen z B Nanotechnologie NanoEngineering usw Preise amp Auszeichnungen BearbeitenSiehe auch Mikroelektronik und Ingenieur Die IEEE Electron Devices Society EDS verleiht u a den Robert Bosch Micro and Nano Electro Mechanical Systems Award fur ausgezeichnete Arbeiten zu MEMS Anwendungsbereiche BearbeitenSiehe auch Mikrosystem Technik Typische Anwendungen sind Sensoren und Aktoren in einer Vielzahl von Bereichen wie der Automobilindustrie 4 Elektrotechnik Informationstechnik Verkehrstechnik Hochfrequenztechnik 5 6 und Medizintechnik 7 Wirtschaft amp Hersteller BearbeitenSiehe auch Mikrosystem Technik Verbande amp Organisationen BearbeitenForschungsfabrik Mikroelektronik FMD Fraunhofer Verbund Mikroelektronik in Kooperation mit den Leibniz Instituten FBH und IHP IEEE Electron Devices Society EDS SEMI MEMS amp Sensors Industry Group Semiconductor Industry Association SIA USA VDI VDE Gesellschaft Mikroelektronik Mikrosystem und Feinwerktechnik GMM VDE MikroSystemTechnik Kongress 8 ZVEI Fachverband Electronic Components and SystemsLiteratur BearbeitenFachartikel Bearbeiten Haoran Wang Yifei Ma Qincheng Zheng Ke Cao Yao Lu Huikai Xie Review of Recent Development of MEMS Speakers In Micromachines Band 12 Nr 10 16 Oktober 2021 S 1257 doi 10 3390 mi12101257 englisch Fachjournale Bearbeiten Journal of Microelectromechanical Systems JMEMS 9 angeboten von IEEE Electron Devices Society Microsystem Technologies ISSN 1432 1858 Springer Micromachines ISSN 2072 666X MDPI Lehrbucher Bearbeiten Stephanus Buttgenbach Mikrosystemtechnik Technik im Fokus Springer Berlin Heidelberg Berlin Heidelberg 2016 ISBN 978 3 662 49772 2 doi 10 1007 978 3 662 49773 9 Markus Gluck MEMS in der Mikrosystemtechnik Vieweg Teubner Verlag Wiesbaden 2005 ISBN 3 519 00520 4 doi 10 1007 978 3 663 10778 1 Manfred Kasper Mikrosystementwurf Springer Berlin Heidelberg Berlin Heidelberg 2000 ISBN 3 540 66497 1 doi 10 1007 978 3 642 57123 7 Wolfgang Menz Jurgen Mohr Oliver Paul Mikrosystemtechnik fur Ingenieure Dritte vollstandig uberarbeitete und erweiterte Auflage Wiley VCH Weinheim 2005 ISBN 3 527 30536 X Friedemann Volklein Thomas Zetterer Praxiswissen Mikrosystemtechnik Vieweg Praxiswissen Vieweg Teubner Springer Wiesbaden 2006 ISBN 978 3 528 13891 2 doi 10 1007 978 3 8348 9105 1 Weiterfuhrende Literatur Bearbeiten Stephanus Buttgenbach Iordania Constantinou Andreas Dietzel Monika Leester Schadel Case Studies in Micromechatronics From Systems to Processes Springer Berlin Heidelberg Berlin Heidelberg 2020 ISBN 978 3 662 61319 1 doi 10 1007 978 3 662 61320 7 englisch Dan Zhang Hrsg Advanced Mechatronics and MEMS Devices Microsystems Band 23 Springer New York New York NY 2013 ISBN 978 1 4419 9984 9 doi 10 1007 978 1 4419 9985 6 englisch Shiban Kishen Koul Sukomal Dey Micromachined Circuits and Devices Microwave to Sub millimeter Applications Lecture Notes in Electrical Engineering Band 859 Springer Singapore Singapur 2022 ISBN 978 981 16 9442 4 doi 10 1007 978 981 16 9443 1 englisch Yogesh B Gianchandani Osamu Tabata Hans P Zappe Comprehensive microsystems Elsevier Amsterdam Paris 2008 ISBN 978 0 444 52190 3 Monografien aus der Springer Serie Microsystems and NanosystemsWeblinks Bearbeiten Commons Mikrotechnologie Sammlung von Bildern Videos und AudiodateienEinzelnachweise Bearbeiten Jan G Korvink Oliver Paul MEMS A Practical Guide to Design Analysis and Applications Springer Berlin Heidelberg Berlin Heidelberg 2006 ISBN 3 540 21117 9 doi 10 1007 978 3 540 33655 6 englisch Simon M Sze Hrsg Semiconductor Sensors Wiley New York 1994 ISBN 0 471 54609 7 englisch Mikrosystemtechnik 52 Studiengange Abgerufen am 27 Dezember 2022 Jessica Mouchegh Mehr Chips Bosch erweitert Halbleiterfertigung in Reutlingen In all electronics Huthig GmbH 23 Februar 2022 abgerufen am 15 Dezember 2022 Shiban Kishen Koul Sukomal Dey Micromachined Circuits and Devices Microwave to Sub millimeter Applications Lecture Notes in Electrical Engineering Band 859 Springer Singapore Singapur 2022 ISBN 978 981 16 9442 4 doi 10 1007 978 981 16 9443 1 englisch Inder J Bahl P Bhartia Microwave Solid State Circuit Design 2 Auflage Wiley Interscience New York 2003 ISBN 0 471 20755 1 MEMS A Practical Guide to Design Analysis and Applications Springer Berlin Heidelberg Berlin Heidelberg 2006 ISBN 3 540 21117 9 doi 10 1007 978 3 540 33655 6 englisch Startseite MikrosyStemTechnik Kongress VDE Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e V abgerufen am 5 Dezember 2022 Journal of Microelectromechanical Systems IEEE Electron Devices Society Abgerufen am 6 Dezember 2022 britisches Englisch Abgerufen von https de wikipedia org w index php title Mikrosystemtechnik amp oldid 230462896