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U61000 in der Presse auch Megachip genannt war ein 1 MBit DRAM Schaltkreis aus der Deutschen Demokratischen Republik DDR

U61000

U61000, in der Presse auch Megachip genannt, war ein 1-MBit-DRAM-Schaltkreis aus der Deutschen Demokratischen Republik (DDR). Er wurde ab 1986 im VEB Forschungszentrum Mikroelektronik Dresden (ZMD) des VEB Carl Zeiss Jena entwickelt und sollte 1990 in die Serienproduktion im Werk ESO III des VEB Mikroelektronik „Karl-Marx“ Erfurt (KME) überführt werden. Der U61000, der dem internationalen Typ 511000 entsprach, wurde in CMOS-Technologie mit 1,2 µm Strukturbreite hergestellt und in einem 18-poligen DIL-Plast- (U61000D) oder -Keramikgehäuse (U61000C) untergebracht. Intern war er mit 1024K × 1 Bit organisiert und hatte eine RAS-Zugriffszeit von 100 bis 120 ns. Der Speicherchip sollte vor allem in den Robotron-Computern K 1820, K 1840 sowie EC 1835 zum Einsatz kommen.

Der 1-Megabit-Chip U61000D
Keramikausführung U61000C
Übergabe der ersten U61000 an Erich Honecker

Geschichte Bearbeiten

Mit dem Beschluss vom 11. Februar 1986 der SED-Führung zur weiteren Entwicklung der Mikroelektronik (Projekt „Mikron“) in der DDR wurde dem ZMD die Aufgabe gestellt, innerhalb von drei Jahren einen 1-MBit-Speicherschaltkreis zu entwickeln und 1990 in die Serienproduktion einzuführen. Aufbauend auf den Erfahrungen bei der Produktion von 64-kBit- (U6164) und 256-kBit- (U61256) DRAM-Schaltkreisen auf Basis einer Technologie von Toshiba wurde in Dresden mit der Entwicklung des 1-MBit-Speicherschaltkreis begonnen. Hierzu wurden durch die Abt. XIV (SWT) des Auslandsnachrichtendienstes der DDR im Ministerium für Staatssicherheit Dokumente zur notwendigen VLSI-Fertigungstechnologie bei Siemens beschafft. Siemens hatte diese Technologie vorher von Toshiba für seine eigenen Produkte lizenziert. Bei deren Überführung in die Massenproduktion hatten die Siemens-Ingenieure große Schwierigkeiten zu überwinden. Nach Aussagen der Entwickler bei ZMD wurden diese Unterlagen nicht verwendet, da diese Papiere „… nicht in unser Konzept passten, das stark auf die Jenaer Ausrüstungen zugeschnitten war …". Die Stasi war sehr enttäuscht, dass die Wissenschaftler ihren Einsatz so schnöde ignorierten.“ Nachträgliche Nachforschungen der CIA bei den Chip-Entwicklern von Siemens konnten den Verdacht nicht erhärten, dass der Dresdner Megabit-Chip mit Hilfe von Siemens-Unterlagen gebaut wurde.

Wegen des CoCom-Technologieembargos konnten die zur Produktion notwendigen technischen Spezialausrüstungen (TSA) sowie die zur Entwicklung benötigte Computertechnik nicht legal auf dem Weltmarkt gekauft werden. Deshalb wurde ein Großteil der TSA wie Waferstepper, Elektronenstrahlschreiber, LPCVD-Beschichtungsanlagen, Ionenstrahlätzer sowie Montagelinien bei Carl Zeiss Jena und VEB Elektromat Dresden selbst entwickelt und gebaut. Andere wichtige TSA wie Plasmaätzer und Hochstromimplanter sollten ursprünglich im Rahmen eines Kooperationsvertrages aus der Sowjetunion bezogen werden. Da die Sowjetunion aber die Anlagen nicht in der geforderten Qualität liefern konnte, wurde von der SED-Führung entschieden, diese TSA und leistungsfähige Computer zur Schaltkreisentwicklung entgegen den gesetzlichen Bestimmungen der Bundesrepublik Deutschland (Außenwirtschaftsgesetz, Militärregierungsgesetz Nr. 53 „Devisenbewirtschaftung und Kontrolle des Güterverkehrs“ der drei westlichen Besatzungsmächte) sowie anderer westlicher Staaten über den Bereich Kommerzielle Koordinierung (KoKo) des Ministeriums für Außenhandel zu importieren. Diese importierten Anlagen mussten aber noch erheblich durch die Ingenieure des ZMD optimiert und technisch verändert werden, um sie für den geplanten Zweck einsetzen zu können.

Am 10. August 1988 konnten durch die Testgeräte die ersten funktionsfähigen und fehlerfreien Entwicklungsmuster des 1-MBit-Speicherchips nachgewiesen werden. Diese Muster wurden am 12. September 1988 öffentlichkeitswirksam an Erich Honecker übergeben (s. Bild). Für die Entwicklung des Speicherschaltkreises wurde das Kollektiv des Forschungszentrums 1988 mit dem Nationalpreis der DDR ausgezeichnet. Auf der Leipziger Frühjahrsmesse 1989 erhielt der U61000 eine Goldmedaille.

Auf der ZMD-Pilotlinie wurden 1988 rund 5.000 Muster des U61000 gefertigt. 1989 folgten weitere 30.000 Megabit-Schaltkreise, die bei einer Ausbeute von bis zu 20 % hergestellt wurden.

Die Entwicklungsarbeiten wurden im Frühjahr 1990 beendet, eine Überleitung in die Serienproduktion im neu gebauten Werk ESO III der KME Erfurt erfolgte nicht mehr, da die TSAs nicht in der notwendigen Anzahl zur Verfügung standen. Eine schon geplante Entwicklung eines 4-MBit-Speicherschaltkreises wurde nicht mehr begonnen, weil ebenfalls kaum Voraussetzungen für eine spätere Massenproduktion zu schaffen waren.

Mit dem Wegfall des Technologieboykotts im Zuge der Währungs-, Wirtschafts- und Sozialunion im Juli 1990 war eine wirtschaftliche Herstellung dieses Speicherschaltkreises nicht mehr möglich, da die Anwender aus der heimischen Computerindustrie die Äquivalenztypen auf dem Weltmarkt nun wesentlich preisgünstiger und in hohen Stückzahlen beziehen konnten.

Galerie Bearbeiten

Literatur Bearbeiten

  • Datenbuch Mikroelektronik Gesamtübersicht. Info-Verlag electronic, Berlin 1990, S. 257.
  • Autorenkollektiv: Nutzerhandbuch K 1821/K 1822. VEB Robotron-Elektronik Dresden, November 1989.
  • Autorenkollektiv: Technisches Handbuch Speichermodul MSC20. VEB Robotron-Elektronik Dresden, Dezember 1989.
  • Detlef Borchers: Hemmungslose Optimisten: 30 Jahre DDR-Chip U61000. heise.de, 12. September 2018.

Weblinks Bearbeiten

Commons: U61000 – Sammlung von Bildern, Videos und Audiodateien

Einzelnachweise Bearbeiten

  1. Horst Müller, Manfred Süß, Horst Vogel (Hrsg.): Die Industriespionage der DDR. edition ost, Berlin 2009, ISBN 978-3-360-01099-5.
  2. Siemens hinkt mit Megachip hinterher. In: Computerwoche, 13. Februar 1987.
  3. Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): Silicon Saxony – die Story. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 73.
  4. Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): Silicon Saxony – die Story. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 79.
  5. Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): Silicon Saxony – die Story. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 75.
  6. Gerhardt Ronneberger: Deckname „Saale“, High-Tech-Schmuggler unter Schalck-Golodkowski. Dietz Verlag Berlin 1999, ISBN 3-320-01967-8.
  7. Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): Silicon Saxony – die Story. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 76.
  8. Was aus Honeckers Megachip wurde. Sächsische Zeitung, 23. März 2015
  9. Wettlauf mit der Zeit (60) – Das Mega-Projekt oder die hemmungslosen Optimisten. Fernsehen der DDR, Sendung vom 16. September 1988.
  10. ↑ Heiko Weckbrodt: Massenproduktion von DDR-Megabitchip war „gar nicht machbar“. Abgerufen am 11. September 2011.
  11. Hans W. Becker: Looking back: Artwork and mask making in Dresden for the East German megabit chip project. 20th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents. Edited by Uwe Behringer. F. W. Proceedings of the SPIE, Volume 5504, 2004, ISBN 978-0-8194-5437-9, S. 75–85.
  12. Silicon Saxony e. V. (Hrsg.): Silicon Saxony – die Story. edition Dresden 2006, ISBN 978-3-9808680-2-0, S. 80.
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U61000 in der Presse auch Megachip genannt war ein 1 MBit DRAM Schaltkreis aus der Deutschen Demokratischen Republik DDR Er wurde ab 1986 im VEB Forschungszentrum Mikroelektronik Dresden ZMD des VEB Carl Zeiss Jena entwickelt und sollte 1990 in die Serienproduktion im Werk ESO III des VEB Mikroelektronik Karl Marx Erfurt KME uberfuhrt werden Der U61000 der dem internationalen Typ 511000 entsprach wurde in CMOS Technologie mit 1 2 µm Strukturbreite hergestellt und in einem 18 poligen DIL Plast U61000D oder Keramikgehause U61000C untergebracht Intern war er mit 1024K 1 Bit organisiert und hatte eine RAS Zugriffszeit von 100 bis 120 ns Der Speicherchip sollte vor allem in den Robotron Computern K 1820 K 1840 sowie EC 1835 zum Einsatz kommen Der 1 Megabit Chip U61000DKeramikausfuhrung U61000CUbergabe der ersten U61000 an Erich Honecker Inhaltsverzeichnis 1 Geschichte 2 Galerie 3 Literatur 4 Weblinks 5 EinzelnachweiseGeschichte BearbeitenMit dem Beschluss vom 11 Februar 1986 der SED Fuhrung zur weiteren Entwicklung der Mikroelektronik Projekt Mikron in der DDR wurde dem ZMD die Aufgabe gestellt innerhalb von drei Jahren einen 1 MBit Speicherschaltkreis zu entwickeln und 1990 in die Serienproduktion einzufuhren Aufbauend auf den Erfahrungen bei der Produktion von 64 kBit U6164 und 256 kBit U61256 DRAM Schaltkreisen auf Basis einer Technologie von Toshiba wurde in Dresden mit der Entwicklung des 1 MBit Speicherschaltkreis begonnen Hierzu wurden durch die Abt XIV SWT des Auslandsnachrichtendienstes der DDR im Ministerium fur Staatssicherheit Dokumente zur notwendigen VLSI Fertigungstechnologie bei Siemens beschafft 1 Siemens hatte diese Technologie vorher von Toshiba fur seine eigenen Produkte lizenziert Bei deren Uberfuhrung in die Massenproduktion hatten die Siemens Ingenieure grosse Schwierigkeiten zu uberwinden 2 Nach Aussagen der Entwickler bei ZMD wurden diese Unterlagen nicht verwendet da diese Papiere nicht in unser Konzept passten das stark auf die Jenaer Ausrustungen zugeschnitten war Die Stasi war sehr enttauscht dass die Wissenschaftler ihren Einsatz so schnode ignorierten 3 Nachtragliche Nachforschungen der CIA bei den Chip Entwicklern von Siemens konnten den Verdacht nicht erharten dass der Dresdner Megabit Chip mit Hilfe von Siemens Unterlagen gebaut wurde 4 Wegen des CoCom Technologieembargos konnten die zur Produktion notwendigen technischen Spezialausrustungen TSA sowie die zur Entwicklung benotigte Computertechnik nicht legal auf dem Weltmarkt gekauft werden Deshalb wurde ein Grossteil der TSA wie Waferstepper Elektronenstrahlschreiber LPCVD Beschichtungsanlagen Ionenstrahlatzer sowie Montagelinien bei Carl Zeiss Jena und VEB Elektromat Dresden selbst entwickelt und gebaut Andere wichtige TSA wie Plasmaatzer und Hochstromimplanter sollten ursprunglich im Rahmen eines Kooperationsvertrages aus der Sowjetunion bezogen werden 5 Da die Sowjetunion aber die Anlagen nicht in der geforderten Qualitat liefern konnte wurde von der SED Fuhrung entschieden diese TSA und leistungsfahige Computer zur Schaltkreisentwicklung entgegen den gesetzlichen Bestimmungen der Bundesrepublik Deutschland Aussenwirtschaftsgesetz Militarregierungsgesetz Nr 53 Devisenbewirtschaftung und Kontrolle des Guterverkehrs der drei westlichen Besatzungsmachte sowie anderer westlicher Staaten uber den Bereich Kommerzielle Koordinierung KoKo des Ministeriums fur Aussenhandel zu importieren 6 Diese importierten Anlagen mussten aber noch erheblich durch die Ingenieure des ZMD optimiert und technisch verandert werden um sie fur den geplanten Zweck einsetzen zu konnen 7 8 Am 10 August 1988 konnten durch die Testgerate die ersten funktionsfahigen und fehlerfreien Entwicklungsmuster des 1 MBit Speicherchips nachgewiesen werden 9 Diese Muster wurden am 12 September 1988 offentlichkeitswirksam an Erich Honecker ubergeben s Bild Fur die Entwicklung des Speicherschaltkreises wurde das Kollektiv des Forschungszentrums 1988 mit dem Nationalpreis der DDR ausgezeichnet Auf der Leipziger Fruhjahrsmesse 1989 erhielt der U61000 eine Goldmedaille Auf der ZMD Pilotlinie wurden 1988 rund 5 000 Muster des U61000 gefertigt 10 1989 folgten weitere 30 000 Megabit Schaltkreise 10 die bei einer Ausbeute von bis zu 20 hergestellt wurden 11 Die Entwicklungsarbeiten wurden im Fruhjahr 1990 beendet eine Uberleitung in die Serienproduktion im neu gebauten Werk ESO III der KME Erfurt erfolgte nicht mehr da die TSAs nicht in der notwendigen Anzahl zur Verfugung standen 10 12 Eine schon geplante Entwicklung eines 4 MBit Speicherschaltkreises wurde nicht mehr begonnen weil ebenfalls kaum Voraussetzungen fur eine spatere Massenproduktion zu schaffen waren Mit dem Wegfall des Technologieboykotts im Zuge der Wahrungs Wirtschafts und Sozialunion im Juli 1990 war eine wirtschaftliche Herstellung dieses Speicherschaltkreises nicht mehr moglich da die Anwender aus der heimischen Computerindustrie die Aquivalenztypen auf dem Weltmarkt nun wesentlich preisgunstiger und in hohen Stuckzahlen beziehen konnten Galerie Bearbeiten nbsp Wafer 125 mm Durchmesser mit 90 Chips U61000 Hochaufgelost nbsp Wafer 125 mm Durchmesser mit 90 Chips U61000 nbsp U61000D unter Glas heute im Deutschen Museum Bonn nbsp U61000D Abmessung nbsp U61000C geoffnet nbsp Speichermodul MSC20 des K1820Literatur BearbeitenDatenbuch Mikroelektronik Gesamtubersicht Info Verlag electronic Berlin 1990 S 257 Autorenkollektiv Nutzerhandbuch K 1821 K 1822 VEB Robotron Elektronik Dresden November 1989 Autorenkollektiv Technisches Handbuch Speichermodul MSC20 VEB Robotron Elektronik Dresden Dezember 1989 Detlef Borchers Hemmungslose Optimisten 30 Jahre DDR Chip U61000 heise de 12 September 2018 Weblinks Bearbeiten nbsp Commons U61000 Sammlung von Bildern Videos und Audiodateien Megabit Chip Deutschen Museum Bonn Memento vom 26 November 2015 im Internet Archive U61000 www robotrontechnik Hinweis Deep Link ohne Menu am linken Seitenrand Der Megabitspeicher U 61000 informatik hu berlin de Staatsauftrag Hochstintegration Thuringen und das Mikroelektronikprogramm der DDR Memento vom 8 Marz 2010 im Internet Archive Programm der 19 Leibniz Konferenz 2015 Digitale Revolution und Industrie 4 0 Abstracts der Konferenzbeitrage Memento vom 19 Januar 2021 im Internet Archive Viele Vortragsfolien mit seltenen Bildern des U61000 und dem Umfeld seiner Entwicklung ZEISS U 61000 DC 1 Megabitspeicherschaltkreis Dynamisch Mikroelektronische Bauelemente Prospekt Ausgabe 1989 Internet Archive Vorlaufiges Messeprospekt des U61000 vom Februar 1989 Dorte Fiedler Feature Serie Neuland Von Halbleitern und Heimat 19 November 2018 6 teilige Podcast Serie Rund um das Megachip Projekt in Dresden Heiko Weckbrodt Im Dresdner Megabit Chip steckten 50 50 DDR und Westtechnologie 18 August 2023Einzelnachweise Bearbeiten Horst Muller Manfred Suss Horst Vogel Hrsg Die Industriespionage der DDR edition ost Berlin 2009 ISBN 978 3 360 01099 5 Siemens hinkt mit Megachip hinterher In Computerwoche 13 Februar 1987 Silicon Saxony e V Hrsg Silicon Saxony die Story edition Dresden 2006 ISBN 978 3 9808680 2 0 S 73 Silicon Saxony e V Hrsg Silicon Saxony die Story edition Dresden 2006 ISBN 978 3 9808680 2 0 S 79 Silicon Saxony e V Hrsg Silicon Saxony die Story edition Dresden 2006 ISBN 978 3 9808680 2 0 S 75 Gerhardt Ronneberger Deckname Saale High Tech Schmuggler unter Schalck Golodkowski Dietz Verlag Berlin 1999 ISBN 3 320 01967 8 Silicon Saxony e V Hrsg Silicon Saxony die Story edition Dresden 2006 ISBN 978 3 9808680 2 0 S 76 Was aus Honeckers Megachip wurde Sachsische Zeitung 23 Marz 2015 Wettlauf mit der Zeit 60 Das Mega Projekt oder die hemmungslosen Optimisten Fernsehen der DDR Sendung vom 16 September 1988 a b c Heiko Weckbrodt Massenproduktion von DDR Megabitchip war gar nicht machbar Abgerufen am 11 September 2011 Hans W Becker Looking back Artwork and mask making in Dresden for the East German megabit chip project 20th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and 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