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Elektrostatische Entladungen englisch electrostatic discharge kurz ESD sind durch grosse Potentialdifferenzen entstehende Spannungsdurchschlage Diese Durchschlage eventuell als Funken sichtbar bewirken einen kurzen hohen elektrischen Strom und konnen zur Zundung von entzundlichen Stoffen fuhren Unter ungunstigen Umstanden entstehen Brand und Explosionsgefahrdungen sowie Gefahrdungen von Personen durch elektrischen Schlag Andere unerwunschte Folgen elektrostatischer Entladungen sind Schadigungen von elektrischen Komponenten in Geraten Davon sind besonders Feldeffekttransistoren betroffen Elektrostatische Entladung in Form eines BlitzesSymbol fur eine ESD SchutzkomponenteSymbol Gefahrenzeichen fur ESD gefahrdete BauteileSymbol eines ESD Erdungs punkts fur alle KomponentenUrsache der Potentialdifferenz ist meist eine Aufladung durch Reibungselektrizitat triboelektrischer Effekt oder Influenz Reibungselektrizitat tritt zum Beispiel beim Gehen auf einem Teppichboden auf Liegt die Luftfeuchtigkeit unter 20 kann ein Mensch auf bis zu 35 000 V aufgeladen werden Liegt die Luftfeuchtigkeit uber 65 sinkt die mogliche Aufladung unter 1 500 V 1 Inhaltsverzeichnis 1 Auftreten von elektrostatischen Aufladungen 2 Arten von elektrostatischen Entladungen 2 1 Funke und Blitz 2 2 Koronaentladung 2 3 Burstenentladung 3 ESD im Bereich der Elektronik 3 1 Elektrostatisch empfindliche Bauelemente 3 2 Grundprinzipien beim ESD Schutz 3 3 Modelle 3 4 Schutzstrukturen innerhalb von elektronischen Bauelementen 3 5 Schutzstrukturen auf Baugruppen durch zusatzliche Bauelemente zum ESD Schutz 3 6 ESD Schutz durch ESD Schutzzonen 3 6 1 Maximal zulassige statische Aufladungen 3 6 2 ESD gerechte Fussboden 3 6 3 ESD gerechte Schuhe und Sicherheitsschuhe 3 6 4 ESD gerechte Schutzhandschuhe 3 6 5 ESD gerechte Oberbekleidung 3 6 6 ESD gerechte Arbeitsoberflachen 3 6 7 Personenerdung bei sitzenden Tatigkeiten 3 6 8 Einrichtungen und Betriebsmittel innerhalb der ESD Schutzzonen 3 6 9 Werkzeuge und Gerate 3 6 10 Ionisation 3 7 Verpackung der Bauelemente und Fertigerzeugnisse 3 8 ESD Schutz ausserhalb von ESD Schutzzonen 4 Klassifikation der Werkstoffe 4 1 Schutzkategorie abschirmend 4 2 Schutzkategorie leitfahig 4 3 Schutzkategorie statisch ableitfahig 4 4 Kategorie Isolator 5 Messung 5 1 Elektrostatische Aufladungen 5 2 Elektrostatische Entladung 5 3 Oberflachenwiderstand und Ableitwiderstand 5 4 Bewertung von Messergebnissen 6 ESD im sonstigen industriellen Umfeld 6 1 Industrielles Umfeld 7 Literatur 8 Einzelnachweise 9 Siehe auch 10 WeblinksAuftreten von elektrostatischen Aufladungen Bearbeiten nbsp Papierschnipsel werden durch elektrostatische Aufladung angezogenElektrostatische Aufladungen sind Teil der Elektrostatik und treten nahezu uberall in unserem Alltag auf Erst ab einer bestimmten Starke der elektrostatischen Entladung Faustformel ca 2 000 V ist diese fur den Menschen wahrnehmbar Die bekannteste Wahrnehmung ist das Spuren eines elektrischen Schlags wenn man nach einer statischen Aufladung z B durch Laufen auf einem Kunstfaserteppich oder das Entlangfahren mit der Hand an einem Kunststoff Treppengelander anschliessend ein geerdeter Korper z B ein Heizkorper beruhrt wird Weiterhin konnen Blitze einer Entladung in dunkler Umgebung mit dem Auge wahrgenommen werden Dies ist beispielsweise besonders gut beim Ausziehen eines Kunstfaser Pullovers in einem komplett dunklen Raum zu sehen Viele elektrostatische Entladungen liegen unter der Wahrnehmbarkeitsschwelle des Menschen konnen aber z B fur elektronische Bauelemente schadlich sein Elektrostatische Aufladungen konnen teilweise durch leichte und isolierende Objekte wie Papierschnipsel oder Haare wahrnehmbar gemacht werden Je nach Starke der Entladung kann es zu Personenschaden und zu Branden kommen Wahrend elektrostatische Entladungen an Korperteilen meist nur aufgrund der Schreckreaktion Gefahrdungen verursachen konnen sie in explosionsgeschutzten Bereichen unter Umstanden schwerwiegende Folgen haben Das trifft auf den Umgang mit brennbaren Flussigkeiten und Gasen zu z B Tankstellen Gasanlagen als auch bei staubtrockenem Schuttgut Staubexplosionen von Mehl Getreide Kohlebergwerke Die Technische Regel fur Gefahrstoffe TRGS 727 beschreibt die Methoden der Analyse von Gefahrdungen durch elektrostatische Aufladungen und regelt die Massnahmen zur Vermeidung von Zundgefahren in explosionsgefahrdeten Bereichen Im Anhang D der TRGS 727 werden Gefahrdungen des elektrischen Schlags durch Entladung statischer Elektrizitat erlautert und Massnahmen dargestellt Beispielsweise wird die Entzundung von Benzindampfen beim Tanken v a durch leitfahige Tankschlauche und ausreichend geerdete Reifen verhindert sowie einen elektrischen Kontakt von Fahrzeugkarosserie und Zapfventil das im Fall einer Entzundung z B durch minderwertig geerdete Reifen lediglich abgestellt aber nicht herausgezogen werden soll 2 Auch Papiermaschinen Webstuhlbaume Anlagen zur Folienherstellung und verarbeitung und Getreidemuhlen sind gefahrdet Hier tritt Ladungstrennung der gefertigten Folienbahnen oder des Schuttgutes ahnlich wie in einem Bandgenerator auf wodurch sich Maschinenteile auch auf fur Menschen gefahrliche Spannungen aufladen konnen Uberschlage konnen Staub und bei standig wiederholten Entladungen auch brennbare Materialien entzunden Fahrzeuge laden sich durch die Reibung der Gummireifen auf der Strasse auf Dieser Effekt wird jedoch oft uberschatzt der Reifengummi weist in der Regel eine ausreichende Leitfahigkeit auf um die Ladungen abzuleiten Beim Aussteigen beobachtete Entladungen ruhren meist von der Reibung der Kleidung auf dem Polstermaterial der Autositze her und fuhren zu einer Aufladung des Fahrers gegenuber der Karosserie Sie sind daher nicht mit einem sogenannten Antistatik Band am Heck zu verhindern Bei vertikal ausgedehnten gegen Erde isolierten metallischen Objekten kann die elektrostatische Aufladung durch das naturliche elektrische Feld der Erde beachtliche Werte annehmen So kann der Kontakt einer geerdeten Person mit einem gegen Erde isolierten Sendemast auch dann einen unter Umstanden sogar lebensgefahrlichen elektrischen Schlag verursachen wenn der Sender ausser Betrieb ist und kein Gewitter naht Arten von elektrostatischen Entladungen BearbeitenFunke und Blitz Bearbeiten nbsp Die Hindenburg kurz nachdem sie Feuer gefangen hat Vermutlich war eine Potentialdifferenz zwischen Erde Landemast und Luftschiff die Ursache Die bekannteste elektrostatische Entladung ist der Blitz Der Blitz kann Menschen und Tiere verletzen oder toten Schaden an Geraten verursachen oder Feuer und Explosionen verursachen insbesondere wenn entzundliche Gase in der Luft vorhanden sind Ein Blitz entsteht im weiteren umgangssprachlichen Sinne immer dann wenn zwischen zwei unterschiedlich aufgeladenen Korpern eine hohe Feldstarke herrscht sodass ein elektrischer Durchschlag eintritt und es zu einer Funkenentladung zwischen den Korpern kommt Durch eine elektrostatische Entladung bei der Landung in Lakehurst bei gewittriger Wetterlage entzundete sich Luftschiff Hindenburg und ging verloren Vermutlich hatte sich im Zwischenraum zwischen den Zellen mit dem als Fullgas eingesetzten Wasserstoff und der Aussenhulle ein entzundliches Gasgemisch gebildet das sich beim Landevorgang durch elektrostatische Entladungen entzundete Koronaentladung Bearbeiten Eine Koronaentladung auch Elmsfeuer genannt tritt durch hohe Feldstarken an spitz zulaufenden oder jedenfalls nicht glatten Oberflachen einer Elektrode auf An Nadelspitzen kommt es durch die starke Anderung des Normalenvektors zu einer hohen Konzentration der Ladungstrager so dass die freien Ladungstrager aus der Elektrode langsam also nicht blitzartig austreten konnen 3 Der Kurvenverlauf der Oberflache verursacht hierbei eine grosse Anderung des elektrischen Potentialgradienten direkt im Bereich der Nadelspitze Burstenentladung Bearbeiten Bei einem Elektrodenradius von 5 mm bis 50 mm tritt gegen eine Platte bei einer elektrischen Feldstarke in der Grossenordnung von 500 kV m eine sogenannte Burstenentladung auf 4 ESD im Bereich der Elektronik BearbeitenElektrostatisch empfindliche Bauelemente Bearbeiten Zur Gruppe von ESD empfindlichen ESDS engl electrostatic discharge sensitive 5 Bauelementen gehoren nahezu alle elektrischen elektronischen und optoelektronischen Bauelemente Weiterhin fallen unter diese Kategorie ebenfalls noch zahlreiche elektromechanische Bauelemente All solche Bauelemente konnen durch elektrostatische Entladungen in ihrer Funktion beeintrachtigt oder zerstort werden Elektrostatische Entladungen konnen in mikroelektronischen Bauteilen Schaden anrichten denn im Verhaltnis zur Bauteilgrosse verhalt sich die Energie einer statischen Entladung in einen Halbleiter wie die Energie eines Blitzschlags in einen Baum Anschaulich wird das wenn man ESD Zerstorungen in einem Chip unter einem Mikroskop sieht die dort einen Krater erzeugt haben Verglichen mit einem Blitz in der Natur hat eine elektrostatische Entladung eine sehr viel kleinere Ladungsmenge und somit eine viel kleinere gespeicherte elektrische Energie Es muss aber die elektrische Leistung die wahrend der Entladung wirkt betrachtet werden Da die Entladedauer im sehr geringen Zeitbereich von ps bis ns liegen kann und der Schadensbereich oder Einschlagsbereich der Entladung haufig im Bereich um die 5 µm bis 10 µm liegt tritt trotz der verhaltnismassig geringen elektrischen Energie eine sehr hohe elektrische Leistung und eine sehr hohe Leistungsdichte Leistung pro Flache im Bauelement auf Insbesondere bei Integrierten Schaltkreisen auf Halbleiterbasis ist ESD eine der haufigsten Ausfallursachen Besonders empfindlich sind Schaltungen aus der Hochfrequenztechnik Diodenlaser GaAs Halbleiter sowie Feldeffekttransistoren und Leuchtdioden die oft nur Sperrspannungen von 5 30 V vertragen Da man Entladungen erst ab ca 2 000 V spuren kann mussen Massnahmen getroffen werden die Aufladungen zuverlassig zu verhindern Nicht nur aussere Entladungen sondern auch durch die Handhabung entstehende elektrische Felder konnen diese Bauteile zerstoren wenn die Spannungsfestigkeit deren teilweise sehr hochohmiger Anschlusse im Eingangsbereich uberschritten wird Es kommt durch innere Spannunguberschlage oder Spannungsdurchschlage zu Zerstorungen oder einer Vorschadigung was zum sofortigen oder spateren Ausfall fuhrt Zur Prufung der ESD Empfindlichkeit werden Gerate oder Systeme mit normierten Entladungen beaufschlagt und auf Fehlfunktion oder Ausfall gepruft Die ESD Empfindlichkeit wird im Rahmen der elektromagnetischen Vertraglichkeit EMV behandelt und untersucht Die ESD Festigkeit ist ein wichtiges Thema in der Elektronikproduktion Industrieelektronik Computertechnik Telekommunikationstechnik und Automobilelektronik Zur Vermeidung von ESD Schaden mussen alle ESD kritischen Bauelemente insbesondere Integrierte Schaltkreise Leuchtdioden Halbleiterlaser Schottky Dioden MOSFETs und IGBTs und Baugruppen zum Beispiel Computerkomponenten in ESD geschutzter Umgebung Electrostatic Protected Area EPA gehandhabt verpackt und gelagert werden Solche ESD Arbeitsplatze und ESD geschutzte Bereiche in der Halbleiterfertigung leiten bestehende elektrostatische Ladungen kontrolliert gegen Erde ab und verhindern die meist durch Reibungselektrizitat entstehenden Aufladungen Dies geschieht durch elektrisch leitfahige Arbeitsoberflachen Antistatikbander entsprechende Mobel Bekleidung Schuhe Bodenbelage ionisierte Umgebungsluft und Erdung aller Komponenten Grundprinzipien beim ESD Schutz Bearbeiten Der Schutz vor elektrostatischen Entladungen ist im Wesentlichen darauf gerichtet Vermeidung der Aufladung unvermeidbare parasitare Aufladungen zu minimieren z B durch Ableiten und Erdung der Korper Vermeidung schneller Entladungen Entladungen konnen nie vermieden werden es kann aber Vorsorge getroffen werden damit es nicht zu schnellen Entladungen kommt und vorhandene elektrische Ladungen langsam z B uber einen grossen elektrischen Widerstand abfliessen konnen Modelle Bearbeiten Um die Haltbarkeit von elektronischen Komponenten zu testen sind verschiedene Simulationsmodelle fur ESD Impulse eingefuhrt worden Diese werden grob in 4 ESD Simulationsmodelle eingeteilt HBM Human Body Model Das Human Body Model bildet die Entladung eines elektrostatisch aufgeladenen Menschen beim Beruhren eines Bauelements nach Als Stromflusspfad wird hierdurch ein Stromfluss durch das Bauelement hindurch zwischen unterschiedlichen Anschlusspins angenommen MM Machine Model Das Machine Model ist vom Grundgedanken mit dem Human Body Model verwandt bildet aber eine schnelle Entladung einer elektrostatisch aufgeladenen Maschine beim Kontakt mit einem Bauelement nach Als Stromflusspfad wird genauso wie beim vorher genannten Human Body Model ein Stromfluss durch das Bauelement hindurch zwischen unterschiedlichen Anschlusspins angenommen CDM Charged Device Model Das Charged Device Model unterscheidet sich grundsatzlich vom Human Body Model und vom Machine Model Bei diesem Modell wird angenommen dass der komplette Baustein elektrisch aufgeladen ist und gegen eine niederohmige Elektrode schlagartig entladen wird Ein Stromfluss durch das Bauelement hindurch wird hier nicht angenommen FCDM Field induced Charged Device Model nbsp PCI Karte in einer ESD Verpackung mit entsprechender KennzeichnungDie Zahlenwerte der einzelnen Modelle konnen nach bisherigen Erfahrungen nicht mit einem festen Faktor zwischen den Modellen umgerechnet werden Aufgrund des Modells ist aber der Zahlenwert beim Human Body Model grosser als der Zahlenwert beim Machine Model Grundsatzlich gilt aber die Aussage dass die Bauelemente umso robuster sind je grosser der jeweilige Zahlenwert ist Schutzstrukturen innerhalb von elektronischen Bauelementen Bearbeiten Zur Ableitung von elektrischen Ladungen werden bei externen Anschlussen Schutzschaltungen wie ggNMOS in die integrierten Schaltungen mit eingebaut Diese wirken innerhalb von Baugruppen bzw an deren Anschlussen Zu berucksichtigen ist dass diese Schutzschaltungen pro Entladung jeweils nur eine maximale Energiemenge aufnehmen konnen Wird diese Energiemenge uberschritten kann die Schaltung samt der eigentlichen Schaltungsfunktion irreversibel beschadigt werden Dem allgemeinen Trend der Verkleinerung der Strukturen der Halbleiterbausteine konnen die Schutzstrukturen innerhalb der Bausteine welche den ESD Schutz gewahrleisten nicht in gleichem Masse folgen Da der ESD Schutzpegel jedoch ein Verkaufsargument ist entwickeln die Hersteller bessere ggf auch kleinere ESD Schutzschaltungen Einzelne diskrete Transistoren besitzen am Gate Anschluss meist keine ESD Schutzschaltungen auch Schottkydioden sind nicht geschutzt p n Ubergange konnen jedoch durch einen gezielt eintretenden Avalanche Durchbruch geschutzt werden Schutzstrukturen auf Baugruppen durch zusatzliche Bauelemente zum ESD Schutz Bearbeiten Um die Robustheit von Baugruppen im Bereich der Kundenschnittstellen zu erhohen konnen an die elektrischen Leitungen auf der Baugruppe im Eingangsbereich spezielle Schutzbauelemente eingebaut werden deren Aufgabe nur der ESD Schutz oder der EMV Schutz ist Diese Bauelemente unterstutzen dann die Ableitung von Spannungen auf den Leitungen gegenuber dem Bezugspotential auf der Baugruppe ESD Schutz durch ESD Schutzzonen Bearbeiten Maximal zulassige statische Aufladungen Bearbeiten Die Arbeit mit elektrostatisch gefahrdeten Bauelementen beispielsweise elektronischen Bauelementen erfordert besondere Vorsichtsmassnahmen Massnahmen in der Elektronik gegen statische Entladungen und elektrische Felder sind in der DIN EN 61340 5 1 beschrieben 5 Im dazugehorigen Benutzerhandbuch sind konkrete Ausfuhrungshinweise enthalten welche jedoch keine zusatzlichen normativen Festlegungen enthalten 6 Im industriellen Umfeld wird zur Verarbeitung von elektrostatisch gefahrdeten Bauelementen eine ESD Schutzzone engl EPA Electrostatic Protected Area eingerichtet Entsprechend dem Stand der Technik soll die Spannungshohe der elektrostatischen Aufladung innerhalb von ESD Schutzzonen den Grenzwert von 100 V nicht uberschreiten 5 Um dies dauerhaft zu gewahrleisten mussen verschiedene bauliche und administrative Vorbereitungen getroffen werden Als weitere Anforderung durfen elektrische Feldstarken von 10 kV m in ESD Schutzzonen nicht uberschritten werden Dieser Zahlenwert klingt zunachst sehr hoch bedeutet aber in der Praxis doch sehr viel Aufwand Beispielsweise gehen von elektrostatisch aufgeladenen Kunststoffkorpern elektrische Felder aus Kommt ein Bauelement in den Wirkungsbereich dieses Feldes kann es entweder durch die direkte Feldwirkung beschadigt werden oder es kann elektrostatisch aufgeladen werden und beim Kontakt mit einem nicht aufgeladenen Bauelement oder einer hart geerdeten Arbeitsoberflache beschadigt werden ESD gerechte Fussboden Bearbeiten Als elementare Voraussetzung muss der Fussboden dieser ESD Schutzzonen eine ausreichende Leitfahigkeit gegenuber dem Bezugspotential PE besitzen In der Praxis haben sich hier Fussboden mit einem Ableitwiderstand von 1 MW bewahrt Gemass dem Stand der Technik darf in ESD Schutzzonen ein Widerstand von 1 GW angewandt werden wenn durch einen Walking Test nachgewiesen werden kann dass die maximale Aufladung der Mitarbeiter nicht grosser als 100 V ist 5 Je nach Ausfuhrung der ESD Fussboden kann die leitfahige Schicht in Form von Platten Rollenware Beschichtungen oder Lackierungen aufgebracht werden In der Breite werden heute meist Beschichtungen oder Rollenwaren als ESD Fussboden verwendet ESD gerechte Schuhe und Sicherheitsschuhe Bearbeiten Zur Ableitung der elektrostatischen Aufladung uber den Fussboden an das Erdpotential mussen die Menschen in ESD Schutzzonen ableitfahige Schuhe tragen Das sind spezielle Schuhe oder in normales Schuhwerk eingelegte aussen zur Sohle umgeschlagene selbstklebende leitfahige Bander Der Gesamtwiderstand des Systems Mensch Erdpotential soll hierbei einen Widerstandswert von 35 MW nicht uberschreiten 5 Bei dem Grenzwert handelt es sich um die Reihenschaltung der nachfolgenden Teilwiderstande Fussboden Ubergangswiderstand Fussboden Schuhwerk Schuhwerk Korperwiderstand des Menschen und Ubergangswiderstand Mensch Bauelement Der Widerstand der Schuhe liegt in der Praxis haufig im einstelligen MW Bereich Der Korperwiderstandswert eines Menschen ist gegenuber den anderen Widerstandswerten meist deutlich geringer und geht mit einem Wert von einigen kW in die Rechnung mit ein Der Ubergangswiderstand Mensch Schuh und der Ubergangswiderstand Mensch Bauelement hangen von verschiedenen Faktoren ab unter anderem von der Hautfeuchtigkeit und konnen uber einen grosseren Bereich variieren ESD gerechte Schutzhandschuhe Bearbeiten In der Vergangenheit gab es keine eigene Norm fur Schutzhandschuhe und somit keine expliziten antistatischen Grenzwerte bzw Vorgaben 7 Zukunftig wird es die EN 16350 Schutzhandschuhe gegen elektrostatische Risiken geben Diese gibt einen maximalen Widerstandswert von 108 Ohm vor Als Mindestisolationsschutz wird 105 Ohm vorgegeben ESD gerechte ableitfahige Handschuhe sollten somit einen Durchgangswiderstand von 105 bis 108 Ohm aufweisen und auf die Norm EN 16350 bzw die Prufmethode EN 1149 1 verweisen Das Ziel ist durch die Schutzhandschuhe den Spitzenstrom einer moglicherweise auftretenden Entladung aus der Haut in ein empfindliches Bauteil zu begrenzen ESD gerechte Oberbekleidung Bearbeiten nbsp ESD JacketDamit sich die Menschen in den ESD Schutzzonen durch Bewegung oder Reibung an anderen Korpern nicht unzulassig aufladen und damit deren moglicherweise geladene Kleidung nach aussen abgeschirmt wird muss eine ableitfahige Schutzkleidung getragen werden Dabei handelt es sich um Baumwoll Gewebe oder um Kunstfaser Gewebe mit speziellen Leitgarnen welche eine hohere elektrische Leitfahigkeit besitzen Damit die Kleidung ihre Schutzfunktion erfullen kann muss diese geschlossen getragen werden Beispielsweise kann dies ein langer Arbeitsmantel sein ESD Schutzkleidung muss die darunter liegenden Kleidungsstucke komplett bedecken ESD Schutzkleidung erfullt zwei Aufgaben nicht oder nur schwach aufladbar leitet elektrische Ladungen Kontakt mit aufgeladenen Oberflachen oder der Kleidung am Menschen abESD gerechte Kleidungsstucke wurden bisher meist aus reiner Baumwolle hergestellt ESD Kleidungsstucke aus einem speziellen Stoffgewebe mit leitfahigen Fasern setzen sich immer mehr durch ESD gerechte Arbeitsoberflachen Bearbeiten Damit in den ESD Schutzzonen keine unzulassig hohen Ladungen entstehen mussen die Arbeitsoberflachen z B von Tischen Regalen etc ausreichend ableitend sein Als Grenzwert betrachtet die Norm einen oberen Grenzwert von 1 GW 5 Bei Arbeitsoberflachen sollte immer bedacht werden dass hart geerdete metallische Anordnungen haufig nicht optimal sind da diese sehr schnelle elektrostatische Entladungen zulassen und den fliessenden Entladestrom kaum vermindern Personenerdung bei sitzenden Tatigkeiten Bearbeiten Beim Sitzen auf einem Stuhl kann der Potentialausgleich fur Handarbeit mit ESD gefahrdeten Bauteilen vollstandig durch ein Erdungsarmband und eine ESD Schutzmatte auf dem Tisch erreicht werden wenn beides geerdet ist Aus Sicherheitsgrunden ist das Erdungsarmband nicht hart geerdet sondern uber einen Widerstand von beispielsweise 1 MOhm gefuhrt sodass beim versehentlichen Beruhren gefahrliche Spannungen fuhrender Teile mit der anderen Hand weniger Gefahr besteht Alle ESD gefahrdeten Bauteile durfen erst nach dem Ablegen auf der Matte aus der ESD Schutzverpackung entnommen werden Ungeerdete Personen durfen nichts auf dem Tisch und auch die mit Erdungsband tatige Person nicht beruhren Einrichtungen und Betriebsmittel innerhalb der ESD Schutzzonen Bearbeiten Es gilt der Grundsatz Was nicht vorhanden ist kann sich nicht aufladen Konkret bedeutet das alles was innerhalb der ESD Schutzzonen erforderlich ist muss erstens auf die Notwendigkeit hin uberpruft werden und zweitens auf das ESD gerechte Verhalten uberpruft werden Grundsatzlich sind ESD gerechte das heisst der DIN EN 61340 5 1 5 entsprechende geerdete und elektrostatisch ableitende Produkte notig Die Leitfahigkeit kann durch eine Widerstandsmessung oft schwer ermittelt werden Die maximale triboelektrische Spannung die zur statischen Elektrizitat fuhrt und die Selbstentladung der Einrichtungen und Betriebsmittel wie schnell fallt die Ladung wieder auf einen unkritischen Wert ab kann ebenfalls nur mit speziellen Geraten ermittelt werden Es ist daher sinnvoll geprufte bewahrte Produkte zu verwenden Werkzeuge und Gerate Bearbeiten In ESD Schutzzonen sollen alle Werkzeuge die mit elektrostatisch gefahrdeten Bauteilen in Beruhrung kommen leitfahig sein Gewohnliche Kunststoffgriffe von Werkzeugen konnen elektrostatische Potentialunterschiede verursachen die zur Schadigung von empfindlichen Bauteilen fuhren konnen ESD Werkzeuge haben anstelle von hochisolierenden Kunststoffmaterialien fur die Griffe elektrostatisch leitfahige Materialien Durch die Leitfahigkeit kommt es zum Potentialausgleich zwischen dem Menschen und dem Werkzeug Einsatz finden diese Werkzeuge beispielsweise in der Elektronikproduktion oder beim Service wenn an Baugruppen gearbeitet werden muss Solche Werkzeuge sind nicht schutzisolierend Lot und Entlotgerate fur ESD gerechtes Arbeiten besitzen eine weiche Erdung der Lotspitze Sie ist uber einen Widerstand von wenigen Kiloohm geerdet um zu verhindern dass die Lotspitze vom in der Heizquelle eng anliegenden Heizdraht umgeladen werden kann Andererseits soll der Lotkolben beim Loten an geladenen Bauteilen keinen plotzlichen Kurzschluss gegen Erde verursachen was bei mit Netzspannung betriebenen Lotkolben Schutzklasse I der Fall ware Hier ist der Lotkolben gut leitend mit dem Schutzleiter Erde verbunden Netzgerate besitzen in der Regel einen potentialfreien Ausgang und konnen Ableitstrome gegen Erde verursachen Diese besonders fur Schaltnetzteile typische Eigenschaft wird durch Entstorkondensatoren und die Kapazitat des Transformators zur Netzspannung verursacht Es treten Spannungen von etwa 100V gegen Erde auf die fur viele Bauteile gefahrlich sind Das gilt auch fur am Laptop angeschlossene Mess und Analysegerate wenn jener ungeerdet und oder an seinem Netzteil betrieben wird Handmessgerate und Tischmessgerate fur die Widerstands Strom und Spannungsmessung Multimeter sind prinzipbedingt nicht elektrostatisch dissipativ ausgerustet und nicht geerdet Hier muss stets darauf geachtet werden dass zunachst der Erd Massebezug hergestellt wird bevor an ESD gefahrdeten Schaltungsteilen gemessen wird Ionisation Bearbeiten Durch Ionisation der Luft mit Ionisatoren bauen sich elektrostatische Ladungen auf Korpern beschleunigt ab Durch Ionisation konnen elektrische Ladungen sowohl auf einen Isolator beispielsweise hochisolierendes Kunststoffteil als auch auf einen elektrisch isolierten Leiter beispielsweise Metallkorper der durch hochisolierende Kunststoffteile gehalten wird abgegeben werden Die Ionisation ist als alleiniges Mittel zum ESD Schutz nicht ausreichend sie kann jedoch Risiken mindern Ionisatoren erzeugen aus dem Luftsauerstoff das giftige Ozon und konnen daher nur soweit eingesetzt werden dass die maximale Arbeitsplatzkonzentration nicht uberschritten wird Ionisatoren erzeugen Ionen an spitzen Elektroden durch Gleichspannung oder hochfrequente Wechselspannung Koronaentladung oder durch radioaktive Praparate Verpackung der Bauelemente und Fertigerzeugnisse Bearbeiten Neben der Verarbeitung der elektrostatisch gefahrdeten Bauelementen ist ebenfalls ein sicherer Transport der Bauelemente erforderlich Daher mussen Verpackungen fur ESD empfindliche Bauelemente aus elektrisch ableitfahigen Materialien z B elektrostatisch dissipativen Kunststoffen bestehen Manche elektronischen Bauteile werden bereits durch den Transport in einer Plastiktute zerstort Verpackungen fur ESD empfindliche Bauteile mussen aus ableitfahig ausgerusteten elektrostatisch dissipativen Kunststoffen bestehen Es gibt durch Fullstoffe ableitende oder metallbedampfte Folien Fullmaterialien und Schaumstoffe Oft sind die empfindlichen Anschlusse der Bauteile zum Transport mit einer Kurzschlussbrucke verbunden Die ESD gerechte Ausfuhrung von Verpackungen ist in der DIN EN 61340 5 3 beschrieben 8 Elemente die zu verpacken sind EPA UPAESDS Direkt anliegend Umhullend Direkt anliegend Umhullendelektrostatisch leitfahig ESD C oder ableitfahig ESD D siehe Anmerkung 1 elektrostatisch leitfahig ESD C oder ableitfahig ESD D wie fur innerhalb der EPA ESD C oder ESD D und mit Schirmwirkung gegen elektrostatische Entladung ESD S siehe Anmerkung 2 Schirmwirkung gegen elektrostatische Entladung ESD SAnmerkung 1 Fur batteriebetriebene ESDS sollte die Auswahl des Materials oder die Ausfuhrung der Verpackung sicherstellen dass die Batterie nicht entladen wird Anmerkung 2 Schirmwirkung gegen elektrostatische Entladung wird nur benotigt wenn die umhullende Verpackung keine Schirmung gegen elektrostatische Entladung bietet Begriffe ESDS Electrostatic sensitive device elektrostatisch empfindliches Bauteil EPA Electrostatic Protected Area elektrostatisch geschutzter Bereich UPA Unprotected Area elektrostatisch nicht geschutzter Bereich Ublicherweise werden Verpackungen aufgrund der elektrischen Leitfahigkeit in die Kategorie S C D und F eingeteilt ESD C Conductive Leitfahig Widerstand zwischen 1kW und 1MWESD D Dissipative Ableitfahig Widerstand zwischen 1MW und1TWESD S Shielding Abschirmend abschirmend gegen elektrostatische EntladungenESD F Electrostatic Field Shielding Abschirmung gegen elektrostatische FelderZusatzlich mussen diese Verpackungen neben dem Schutz gegen elektrostatische Entladungen auch noch einen ausreichenden Schutz gegen den Einfluss von statischen Feldern bieten Neben den bekannten Werkstoffklassen fur die Verpackung wurde mit Einfuhrung dieser Norm zusatzlich die Schutzkategorie F eingefuhrt Werkstoffe und Verpackungsmaterialien dieser Kategorie bieten zusatzlich den erforderlichen Schutz gegen die beschriebenen statischen Felder 8 Je nach Art der Ausfuhrung konnen mehrere Lagen von Verpackungen verwendet werden Die ESD gerechte Ausfuhrung muss hierbei mindestens die innere Schicht welche die Bauteile direkt beruhrt aufweisen Daruber hinaus mussen diese Verpackungen neben dem ESD Schutz auch den verpackten Inhalt ausreichend gegenuber mechanischen und klimatischen Einflussen schutzen ESD Schutz ausserhalb von ESD Schutzzonen Bearbeiten Nicht uberall wo mit elektrostatisch gefahrdeten Bauelementen umgegangen wird ist eine ESD Schutzzone vorhanden beispielsweise beim Service Einsatz im Elektronikbereich bei einem Endkunden Auch hier mussen jedoch ausreichende ESD Schutzvorkehrungen getroffen werden Beispielsweise kann in diesem Fall ein Handgelenkserdungsband welches mit dem Erdpotential verbunden wird die Aufladung der Personen verhindern Weiterhin gibt es leitfahige Matten die ebenfalls mit dem Erdpotential verbunden werden konnen und somit eine gefahrlose Ablage von Bauelementen und Baugruppen ermoglichen Fur Arbeiten im Elektronikbereich steht hierzu auch ESD gerechtes leitfahiges Werkzeug zur Verfugung welches sich durch eine ausreichende Eigenleitfahigkeit gegenuber handelsublichen isolierenden Werkzeugen unterscheidet Klassifikation der Werkstoffe BearbeitenSchutzkategorie abschirmend Bearbeiten Die Schutzwirkung bei Materialien der Kategorie abschirmend engl shielding wird bei Metallen durch die hohe elektrische Leitfahigkeit des Werkstoffs sichergestellt Diese Kategorie besitzt die hochste Leitfahigkeit Verpackungen dieser Kategorie werden durch den Buchstaben S in Verbindung mit dem ESD Schutzsymbol gekennzeichnet Nach Norm liegt der Oberflachenwiderstand der Materialien unterhalb von 100 W Das Erscheinungsbild sind silberfarbige Tuten Schutzkategorie leitfahig Bearbeiten Die Schutzkategorie leitfahig engl conductive wird bei Kunststoffen durch die Verwendung von Graphitpartikeln welche in die Kunststoffmatrix eingebracht werden erzeugt Diese Kategorie besitzt eine Leitfahigkeit welche geringer als die Leitfahigkeit der Kategorie abschirmend aber grosser als die Leitfahigkeit der Kategorie statisch ableitfahig ist Verpackungen dieser Kategorie werden durch den Buchstaben C in Verbindung mit dem ESD Schutzsymbol gekennzeichnet Nach Norm liegt der Oberflachenwiderstand der Materialien im Bereich zwischen 100 W und 100 kW 5 Typische Materialien sind Plastikfolien Tuten Schaumstoffe und Kartonagen in schwarzer Farbe Schutzkategorie statisch ableitfahig Bearbeiten Die Materialien von Schutzverpackungen der Schutzkategorie statisch ableitfahig engl static dissipative besitzt einen hoheren elektrischen Widerstand als die Verpackungen der Kategorie leitfahig Die Leitfahigkeit kann durch das Einbringen von Metallionen z B Kupferionen oder durch das Aufbringen eines Antistatikums auf der Oberflache erreicht werden Diese Werkstoffe werden auch als elektrisch ableitfahig bezeichnet Verpackungen dieser Kategorie werden durch den Buchstaben D in Verbindung mit dem ESD Schutzsymbol gekennzeichnet Nach Norm liegt der Oberflachenwiderstand der Materialien im Bereich zwischen 100 kW und 100 GW 5 Entsprechende Verpackungsmaterialien sind beispielsweise Luftpolsterfolien und Tuten aus Polyethylen in den Farben Rosa oder Hellblau Kategorie Isolator Bearbeiten Alle Materialien deren Oberflachenwiderstand grosser als 100 GW ist werden aus ESD Sicht als elektrische Isolatoren eingruppiert und besitzen nicht mehr die erforderliche elektrische Leitfahigkeit zum ESD Schutz 5 Erganzend zur Betrachtung aus ESD Sicht muss aber erganzt werden dass auch die Werkstoffe dieser Kategorie aus physikalischen Grunden auch den elektrischen Strom leiten auch wenn der Oberflachenwiderstand grosser als der Grenzwert nach Norm ist Aus ESD Sicht reicht die ableitende Wirkung von Isolatoren nicht mehr aus und es durfen Isolatoren aus diesem Grund nicht eingesetzt werden Messung BearbeitenElektrostatische Aufladungen Bearbeiten Zur Erfassung von moglichen Risiken durch elektrostatische Aufladungen ist man auf Messgerate angewiesen da Menschen Entladungen erst ab einem Spannungswert von etwa 2 000 V wahrnehmen konnen Elektrostatische Aufladungen und deren elektrische Feldstarke konnen mit einem Elektrofeldmeter messtechnisch ermittelt werden Daruber hinaus kann elektrostatische Aufladung in manchen Fallen auch anhand der elektrostatischen Anziehung siehe Elektrostatik erkannt werden Dies setzt aber meist sehr hohe Aufladungen voraus Hierbei ist aber zu berucksichtigen dass das blosse Aneinanderhaften von Gegenstanden auch auf Adhasion beruhen kann Elektrostatische Entladung Bearbeiten nbsp Dieser Artikel oder nachfolgende Abschnitt ist nicht hinreichend mit Belegen beispielsweise Einzelnachweisen ausgestattet Angaben ohne ausreichenden Beleg konnten demnachst entfernt werden Bitte hilf Wikipedia indem du die Angaben recherchierst und gute Belege einfugst Die Elektrostatische Entladung konnte erst vor wenigen Jahren messtechnisch mit Echtzeit Oszilloskopen gt 1 GHz erfasst werden da die Speicherchips den schnellen einmaligen und nie gleichmassigen Entladepuls lt 1ns nicht aufzeichnen konnten Mit schnellen Echtzeit Oszilloskopen stellte man nun fest dass z B bei der Entladung eines Menschen an der Hand Person lauft uber Teppich und fasst eine Klinke an es eigentlich zwei Entladungen gibt 1 Die Hand wird als Erstes schnell entladen kleine Ladung schnell 2 Anschliessend wird der ganze Korper entladen grosse Ladung ca zehnfache Dauer Da Ladungsverteilung und Funkenerzeugung unter reellen Bedingungen in der Praxis stark variieren sind Spannung Strom und Entladezeiten stets individuell Simuliert werden diese mit ESD Pistolen welche mit Einsatzen verschiedene Simulationsmodelle abbilden Human Body Model Machine Modell etc Oberflachenwiderstand und Ableitwiderstand Bearbeiten Der Oberflachenwiderstand von Werkstoffen und der Ableitwiderstand von Einrichtungen gegenuber dem Bezugspotential PE haben einen entscheidenden Einfluss auf den ESD Schutz Durch Reibung an Korpern kommt es zur Aufladung Werkstoffe die einen ausreichend niedrigen Oberflachenwiderstand besitzen sorgen dafur dass zum einen die Hohe der Aufladespannung minimiert wird und zum anderen die elektrostatische Aufladung wieder abbauen kann Der Ableitwiderstand von Einrichtungen sorgt dafur dass elektrostatische Aufladungen gegen das Bezugspotential Erde abfliessen konnen und somit keine unzulassig hohen Aufladungen entstehen konnen Bewertung von Messergebnissen Bearbeiten Die Bewertung von Messergebnissen erfordert meist viel Erfahrung Wie durch praktische Tests gezeigt werden kann konnen Werkstoffe deren Oberflachenwiderstand auch oberhalb des zulassigen Grenzwerts liegen in bestimmten Fallen eingesetzt werden Dies ist dann der Fall wenn sich diese Stoffe beispielsweise durch Reibung nur gering aufladen und die Ladungstrager bereits nach sehr geringer Zeit wieder abgebaut sind ESD im sonstigen industriellen Umfeld BearbeitenIndustrielles Umfeld Bearbeiten Elektrostatische Aufladung kann die Herstellung und Verarbeitung von Kunststoff Kunststofffolie Granulat Papier Textilien und Glas sowie das Umfullen von Schuttgut Pulver und Flussigkeiten behindern Einerseits birgt die Handhabung Fordern Bunkern Betanken Umwickeln Beschichten Entrollen usw der Materialien Risiken Brandgefahr Stromschlage ESD Schaden an elektronischer Ausrustung andererseits haften aufgrund der elektrischen Aufladung an Folien und Platten gern Staubteilchen Fusseln oder Haare Deshalb werden Ionisatoren und Erdungsanlagen eingesetzt Produktionsmaschinen fur elektrisch isolierende Endloserzeugnisse sowie der Umgang mit isolierenden Schuttgutern erfordern besondere Sicherheitsmassnahmen gegen elektrostatische Aufladung Wegen der grossen Gefahren mussen erfolgte Erdungsmassnahmen an Tanklastzugen uberwacht werden Beispiele sind das Be und Entladen mit brennbaren und isolierenden Materialien wie beispielsweise Ol Griess Treibstoffe Mehl Getreide Plastegranulat Lacke chemische Halbfabrikate Die Uberwachung erfolgt beispielsweise durch Detektieren der charakteristischen Erdkapazitat des Lastzuges Literatur BearbeitenDIN EN 61340 5 1 Elektrostatik Teil 5 1 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Allgemeine Anforderungen IEC 61340 5 1 DIN EN 61340 5 1 Beiblatt 1 Elektrostatik Teil 5 1 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Benutzerhandbuch IEC 61340 5 2 DIN EN 61340 5 3 Elektrostatik Teil 5 3 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Eigenschaften und Anforderungen fur die Klassifizierung von Verpackungen welche fur Bauelemente verwendet werden die gegen elektrostatische Entladungen empfindlich sind IEC 61340 5 3 Technische Regel fur Gefahrstoffe TRGS 727 Vermeidung von Zundgefahren infolge elektrostatischer Aufladungen Hartmut Berndt Elektrostatik VDE Schriftenreihe Normen verstandlich 3 Auflage VDE Verlag GmbH Berlin 2009 ISBN 978 3 8007 3049 0 Einzelnachweise Bearbeiten Philip Havens Wenn Smartphone oder Tablet eine gewischt bekommen Feuer an der Zapfpistole die unterschatzte Gefahr Der Westen 5 Juli 2010 Niels Jonassen Mr Static Explosions and ESD Nicht mehr online verfugbar In Compliance Engineering 1999 archiviert vom Original am 8 Juli 2011 abgerufen am 5 Marz 2011 Kaiser Kenneth L Electrostatic discharge Taylor amp Francis Washington DC 2006 ISBN 0 8493 7188 0 S 2 73 a b c d e f g h i j DIN EN 61340 5 1 Elektrostatik Teil 5 1 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Allgemeine Anforderungen IEC 61340 5 1 DIN EN 61340 5 1 Beiblatt 1 Elektrostatik Teil 5 1 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Benutzerhandbuch Eine Ubersicht uber die je nach Regelwerk oder Norm existierenden Werte gibt es auf ESD Normen Ubersicht PSA PDF 66 kB a b DIN EN 61340 5 3 Elektrostatik Teil 5 3 Schutz von elektronischen Bauelementen gegen elektrostatische Phanomene Eigenschaften und Anforderungen fur die Klassifizierung von Verpackungen welche fur Bauelemente verwendet werden die gegen elektrostatische Entladungen empfindlich sind IEC 61340 5 3 Siehe auch BearbeitenTeilentladungWeblinks BearbeitenGefahrdungsbeurteilung bei Gefahren durch elektrostatische Entladungen Youtube Video zu historischen Versuchen Abgerufen von https de wikipedia org w index php title Elektrostatische Entladung amp oldid 235149117