Wolframdisilicid ist eine anorganische chemische Verbindung des Wolframs aus der Gruppe der Silicide. Neben diesem existiert noch das Pentawolframtrisilicid W5Si3.
| Strukturformel | ||||||||||
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| _ W _ Si | ||||||||||
| Allgemeines | ||||||||||
| Name | Wolframdisilicid | |||||||||
| Andere Namen | Wolframsilicid (mehrdeutig) | |||||||||
| Summenformel | WSi2 | |||||||||
| Kurzbeschreibung | blau grauer Feststoff | |||||||||
| Externe Identifikatoren/Datenbanken | ||||||||||
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| Eigenschaften | ||||||||||
| Molare Masse | 240,01 g·mol−1 | |||||||||
| Aggregatzustand | fest | |||||||||
| Dichte | 9,3 g·cm−3 | |||||||||
| Schmelzpunkt | 2160 °C | |||||||||
| Löslichkeit | nahezu unlöslich in Wasser | |||||||||
| Sicherheitshinweise | ||||||||||
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| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. |
Gewinnung und Darstellung Bearbeiten
Wolframdisilicid kann durch Reaktion von Monosilan, Dichlorsilan oder Disilan mit Wolframhexafluorid gewonnen werden.
Eigenschaften Bearbeiten
Wolframdisilicid ist ein blau grauer Feststoff, der unlöslich in Wasser ist. Er besitzt eine tetragonale Kristallstruktur vom Calciumcarbid bzw. Molybdändisilicid-Typ mit der Raumgruppe I4/mmm (Raumgruppen-Nr. 139).
Verwendung Bearbeiten
Wolframdisilicid wird als Kontaktmaterial in der Mikroelektronik verwendet und per chemische Gasphasenabscheidung (CVD) abgeschieden.
Einzelnachweise Bearbeiten
- ↑ W. M. Haynes (Hrsg.): CRC handbook of chemistry and physics. A ready-reference book of chemical and physical data. Begründet von David R. Lide. 93. Auflage. CRC Press, Boca Raton 2012, ISBN 978-1-4398-8049-4, S. 4–96 (englisch, eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- ↑ Datenblatt Tungsten silicide, −325 mesh, 99.5% bei Sigma-Aldrich, abgerufen am 12. Oktober 2012 (PDF).
- Externe Identifikatoren von bzw. Datenbank-Links zu Pentawolframtrisilicid: CAS-Nummer: 12039-95-1, EG-Nummer: 234-912-7, ECHA-InfoCard: 100.031.726, PubChem: 6336893, ChemSpider: 4891886, Wikidata: Q82897389.
- Hugh O. Pierson: Handbook of Chemical Vapor Deposition, 2nd Edition: Principles, Technology ... William Andrew, 1999, ISBN 0-8155-1743-2, S. 332 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- Peter Paetzold: Chemie: Eine Einführung. Walter de Gruyter, 2010, ISBN 3-11-020268-9, S. 199 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- Werner Martienssen, Hans Warlimont: Springer Handbook of Condensed Matter and Materials Data. Springer, 2005, ISBN 3-540-44376-2, S. 474 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- Horst Briehl: Chemie der Werkstoffe. Springer, 2007, ISBN 3-8351-0223-0, S. 255 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).
- R. A. Levy: Microelectronic Materials and Processes. Springer, 1989, ISBN 0-7923-0154-4, S. 204, 237 f. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).