Als Mesa wird im Allgemeinen eine Erhebung mit ebener Oberfläche und steiler Flanke bezeichnet. Der Begriff leitet sich von Tafelbergen ab, die im Spanischen „Mesa“ heißen. Die Mesa-Struktur ist vornehmlich aus der Halbleitertechnik bekannt, hauptsächlich in Form des Mesatransistors, einem Transistor mit einer tafelbergförmigen Gestalt. Die Bezeichnung wird jedoch auch in der Mikrosystemtechnik verwendet.
Literatur Bearbeiten
- Friedemann Völklein, Thomas Zetterer: Praxiswissen Mikrosystemtechnik. Vieweg+Teubner Verlag, 2006, ISBN 978-3-528-13891-2, S. 162 ff. (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche).