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Anton Heuberger 20 Februar 1942 in Munchen 3 Februar 2011 war ein deutscher Ingenieur und Physiker Heuberger studierte an der Fakultat fur Maschinenwesen und Elektrotechnik der Technischen Universitat Munchen wo er 1973 mit einer Arbeit uber den Einfluss des Absorptionsortes von g Quanten Gamma Quanten auf die Energieauflosung diffundierter Halbleiterdetektoren mit innerer Verstarkung promoviert wurde Heuberger war von 1993 bis 2007 Leiter des Fraunhofer Instituts fur Siliziumtechnologie in Itzehoe Daneben bekleidete er den Lehrstuhl fur Halbleitertechnik der Christian Albrechts Universitat zu Kiel Heuberger war Mitglied der Deutschen Akademie der Technikwissenschaften Acatech 1 Ehrungen Bearbeiten1988 Forschungspreis der Philip Morris Stiftung fur die Entwicklung der Rontgenstrahllithographie und der Mikrostrukturtechnik 2007 Verdienstkreuz am Bande der Bundesrepublik DeutschlandWeblinks BearbeitenVerdienstkreuz am Bande an Professor Dr Anton Heuberger Garrit Leemreijze und Horst Schurad uberreicht Pressemitteilung der Landesregierung Schleswig Holstein Traueranzeige in der Suddeutschen ZeitungEinzelnachweise Bearbeiten siehe Seite uber Heuberger der Acatech Memento vom 2 August 2015 im Webarchiv archive today abgerufen am 2 August 2015Normdaten Person GND 137919158 lobid OGND AKS LCCN n85142242 VIAF 54619666 Wikipedia Personensuche PersonendatenNAME Heuberger AntonKURZBESCHREIBUNG deutscher Ingenieur und PhysikerGEBURTSDATUM 20 Februar 1942GEBURTSORT MunchenSTERBEDATUM 3 Februar 2011 Abgerufen von https de wikipedia org w index php title Anton Heuberger amp oldid 231126844