Ionenstreuspektroskopie (auch Ionenstreuungsspektroskopie; englisch ion scattering spectroscopy, ISS) bezeichnet eine Gruppe von oberflächensensitiven Analyseverfahren:
- Niederenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. low energy ion scattering, LEIS)
- Mittelenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. medium energy ion scattering, MEIS)
- Hochenergetische Ionenstreuspektroskopie (engl. high energy ion scattering, HEIS), üblicherweise als Rutherford-Rückstreu-Spektrometrie (engl. Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS) bezeichnet